氦质谱检漏仪操作步骤：1、将总电源转到“前级泵”，低真空表头指示值应从左向右逐渐上升至2~15Pa，开抽速阀，开漏孔开关，表头示值也应能抽到原来位置，再关抽速阀。2、将总电源转到“扩散泵”，灯亮，扩散泵开始加热。3、等20分钟左右，扩散泵排气管应热，开冷规开关，“质谱室压强”表头指针应从左打向右(即冷规已激发)再关冷规。4、开抽速阀，过几分钟后开冷规，表头指针应从左打向右，再从右向左逐渐上升(真空示值在1×10-2Pa以下请不要长时间开冷规，可等一会儿再开)，当真空示值超过1×10-2Pa后，可启动灯丝，灯亮，“发射电流”有指示，开、关漏孔检查氦质谱检漏仪灵敏度(可调加速电压使信号指示Zda)，灵敏度达要求后关漏孔。氦检仪检漏范围宽：不只可检测氦气，而且能检测其它气体。分体式氦气检测设备特点
氦质谱检漏仪是根据质谱仪学原理，用氦气作为搜索气体制成的气密性检测仪器。氦质谱检漏仪电源电压220V频率50HZ额定功率2000W。仪器应安装在符合仪器使用的环境要求的场所，特别是仪器的电源插座，应符合要求，要有良好的地线，左右要留有30CM的通风间距。放置好氦质谱检漏仪，以避免仪器有倾斜或倾倒的危险。氦质谱检漏仪的底部有安装孔，可以将其固定在桌子或支架上。在仪器运行前要确保真空泵中的机械泵油是否足够，机械泵油必须用特定的针对机械泵型号的油。智能氦检仪报价氦检仪自动化程度高；
氦质谱检漏仪换灯丝步骤：当冷规指针已过1×10-2Pa，按灯丝启动，灯很亮，发射电流无指示，量离子源插头①②足不通，即为灯丝断，灯丝寿命一般正常使用为1至3个月。1、停机换灯丝：可直接取下离子源更换灯丝，装好后按正常开机步骤进行。2、不停机换灯丝：关冷规，关抽速阀，取离子源插头，取下离子源，更换灯丝后装上离子源，插离子源插头，此时“加速电压”示值不应有变化，“发射电流”示值应为零。如其中有一示值与上不符，则是离子源内有短路，应取下排除。将阀开关由“前置”转向“粗抽”(注意：阀开关在“粗抽”的时间不要超过五分钟)，全开节流阀，等真空抽上后，关闭节流阀，将“粗抽”转向“前置”，开抽速阀，开冷规，等真空过1×10-2Pa后可启动灯丝，调氦峰。
便携式氦质谱检漏仪的明显优点：1、性价比高：便携式氦质谱检漏仪是一款实用的检漏仪，可覆盖广大的应用领域，竞争性的价格及较低的使用成本，大抽速前级泵的设计，可缩短抽气时间，提高使用效率；2、自我保护功能：在突然暴露大气和突然断电时具有保护功能，系统的逆扩散设计保护了质谱室的清洁、真空，且不需要液氮；3、结构灵活：可采用主机与前级泵单独采买，前级泵可使用油封式旋片泵或涡卷式干泵，对于便携式氦质谱检漏仪，既可选择带有连接配件的主机形式，也可选择安装在两轮小车上的整体形式。氦质谱检漏仪的可检漏率：5×10-12Pa·m3/s。
氦质谱检漏仪的选择要进行多家的货物进行对比，将不同品牌的样品放一起对比，这样氦质谱检漏仪仪质量好与坏一眼便看得出来。除了光看样品的质量，建议用户尽可能监督安装的全过程，同时并索要样品验货，在安装完后，可以要求商家在再测试一遍。保持氦质谱检漏仪的干燥，严禁接触水，并避免直接接触腐蚀性液体。严禁在高温的环境中使用氦质谱检漏仪，高温使用仪器，很可能会长久性的损坏传感器。请参阅仪器的温度使用范围。不同的氦质谱检漏仪的应用范围领域也不相同，例如工业用的氦质谱检漏仪，需符合国家各项安全标准，使用起来也更复杂。氦检仪分子泵出现故障如何快速定位维修？小型氦气检测设备氦检模块
氦检仪现已普遍应用于半导体设备检漏。分体式氦气检测设备特点
氦检仪的组成部分有哪些？真空系统，仪器的真空系统提供质谱正常工作所需要的真空条件，不同型号的氦检仪其真空系统有较大的差别。真空系统一般包括：1）主泵。一般用扩散泵或涡轮分子泵。极限压力小于5×10-1Pa，其抽速应与气载匹配。2）前级真空泵。一般采用旋片式机械真空泵，在以分子示为主泵的系统中，也有采用薄膜泵或干泵的。抽速与主泵匹配。3）预抽真空泵。一般与前级真空泵共同一个泵，预抽真空泵一般采用旋片式机械真空泵，其抽速视被检件大小而定，因此预抽真空泵大都由用户自配。分体式氦气检测设备特点
上海妤林真空设备技术有限公司是国内一家多年来专注从事氦气检漏仪，氦气回收系统，检漏仪，氦检仪的老牌企业。公司位于上海市嘉定区徐行镇新建一路2255号1幢104，成立于2020-06-11。公司的产品营销网络遍布国内各大市场。公司主要经营氦气检漏仪，氦气回收系统，检漏仪，氦检仪，公司与氦气检漏仪，氦气回收系统，检漏仪，氦检仪行业内多家研究中心、机构保持合作关系，共同交流、探讨技术更新。通过科学管理、产品研发来提高公司竞争力。公司秉承以人为本，科技创新，市场先导，和谐共赢的理念，建立一支由氦气检漏仪，氦气回收系统，检漏仪，氦检仪**组成的顾问团队，由经验丰富的技术人员组成的研发和应用团队。妤林秉承着诚信服务、产品求新的经营原则，对于员工素质有严格的把控和要求，为氦气检漏仪，氦气回收系统，检漏仪，氦检仪行业用户提供完善的售前和售后服务。
