氦质谱检漏仪质量范围很宽，不但可检测氦气，而且能检测其它气体。分子泵排气系统取代扩散泵排气系统，不但解决了油蒸气对质谱室的污染问题，而且对快速启动仪器和快速停机做出了很大贡献。为适应检漏口压强的变化和对灵敏度要求的不同，分子泵一般采用多级构造和几种不同的转速。例如可通过采用改变分子泵转速来达到此目的，且提高检漏灵敏度。另外，逆扩散检漏方式，实现了高压强下检漏，也为正压吸检漏提供了良好的条件。氦质谱检漏仪现在已经渗透到航空航天、新能源、电子器件、阀门、电力、核电、制冷、家电等行业。氦质谱检漏仪是一种用氦气作为示漏气体进行泄漏检测的专门使用仪器。南京便携式氦质谱检漏仪生产厂家
氦质谱检漏仪的结构组成：它通过质谱室的重点供电和测量，所以作为供电的重点部分，其中一部分属于真空部分，对这部分的重点检测要求非常高，通过检测中获得的检测数据输出形成重点装置。然后氦质谱检漏仪主要通过控制电流输出的大小，由于气密性检测仪离子流收集极接收到的离子流很小，必须放大后才能显示输出。通过交流放大器放大调制的离子流。输出信号由显示仪表和声音装置(扬声器)指示。低频发生器，低频发生器产生频率为5~7Hz，振幅为14~16V的调制电压，该电压叠加在加速电压上，实现离子流调制。高压整流器和发射电流稳定装置。发射电流稳定装置是调节灯丝加热电流，从而保持灯丝发射电流稳定，提高灵敏度。发射电流可以分几个档次进行有级调节，以改变仪器的灵敏度。高压整流器提供冷阴极磁控电源。真空规放电电流指示气体压力值，由仪器显示，其放电电流也作为继电保护的输入信号。当质谱检漏仪室真空度恶化时，放电电流增大，使继电器动作，然后切断灯丝加热电流，保护灯丝不被烧毁。金华小型氦质谱检漏仪费用具有性能稳定、灵敏度高等特点。
氦质谱检漏仪中氦质谱检漏系统的关键部件均为进口，性能稳定可靠。修长的体积，优越的性能，适用于众多行业。运用了氦质谱和逆扩散原理,采用了原装进口分子泵、180°非均匀磁场和全自动控制技术，实现了自动氦峰扫描、自动调零、自动校准和自动量程切换,具有检测速度快、检测灵敏度高、抗干扰能力强等特点。氦质谱检漏仪可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。 此检测方法使用的示踪气体选择了氦气，氦气具有质量数小、重量轻并且有渗透能力强的优点，达到了细检漏的目的。氦质谱检漏仪特点：1.检测时间和响应周期非常短，可以达到2s以内；2.检测的介质比较常用，只需压缩空气即可；3.多种大漏保护模式，充分保护离子源不被氧化和暴漏大气时分子泵不被冲击。
氦质谱检漏仪的检漏方式：1、钟罩法——测总漏率，将被检件与仪器检漏口联接抽真空，在被检件外面罩以充满氦气的容器，如被检件有漏孔，氦气便由漏孔进入被检件，达到质谱管被检测。所测漏率是被检件的总漏率，不能确定有几个泄漏点和每个漏点的准确位置。可以看出钟罩法是基于喷吹法的一种检漏方法。2、背压法——测总漏率，进行电子元器件气密性检测时常用背压法。检漏前用特定加压容器向被检件压入氦气(由压力和时间控制压入的量)，然后取出被检件，吹去表面吸附氦后放入特定检漏罐中，再将检漏罐联接到检漏仪的检漏口上，对检漏罐抽真空，实施检漏。若器件有漏，则通过该漏孔压人的氦气又释放出来进入检漏罐，到达质谱管。用这种方法测得的漏率也是总漏率。氦质谱检漏仪在校准灵敏度时，标准漏孔的位置不同于被检漏孔的位置。
氦质谱检漏仪的性能、特性好坏取决于质谱分析室。质谱分析室的工作原理是对离子源气体进行电离，电离出来的正离子经过电场加速聚焦通过缝隙进入均匀磁场，离子束在磁场力的作用下，旋转180o或90o按一定轨迹到达收集极，此种形式称之为磁性偏转分析形式。然后，经小电流放大器、微处理器，控制器等线路处理直至液晶屏显示出读数的大小。在压力容器中，使用氦质谱检漏仪检漏常用的方法大体可分为三种，即喷氦法（负压法），吸口法（正压法），氦罩法。就几种方法的灵敏度比较而言，喷氦法的灵敏度高些。但是当检漏仪安装在大型的、比较复杂的压力容器装置上时，也不敢确切地说喷氦法的灵敏度就是高。怎么确定氦质谱检漏仪用于镀膜设备的灵敏度？杭州进口氦质谱检漏仪工作原理
选择氦质谱检漏仪时灵敏度要能满足检漏的要求，国内外生产的不同类型的氦质谱检漏仪的灵敏度是不一样的。南京便携式氦质谱检漏仪生产厂家
氦质谱检漏仪的选择：首先要考虑到灵敏度必需充分满足要求，选择氦质谱检漏仪时。但也不是越高越好。便携式检漏仪适于检小件，灵敏度也较高，移动方便。由于本机真空系统很小，抽气能力有限，所以检大容器时就不得不靠较大辅助真空系统抽气，由于气体分流、灵敏度将降低。检大容器时，一般选逆扩散型检漏仪，因被检件接在分子泵钱级与机械泵连接管道上，要求真空度不高，而顺检型检漏仪被检件接在质谱室上，要求真空度高，否则仪器不能工作，所以抽气时间要长。如果在流水线上测振仪可选用特定检漏仪或作简单工装使用。若平时被检件什么样的都可能有，可以选用基本型氦质谱检漏仪，以降低成本。南京便携式氦质谱检漏仪生产厂家
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