氦检仪喷氦法检测优点:1.检测灵敏度高,可精确定位。2.能实现大容器或复杂结构产品的检漏。氦检仪喷氦法法检测标准:检测标准主要有QJ3123-2000《氦质谱真空检漏方法》、GB/T15823-2009《氦泄漏检验》。氦检仪喷氨法检漏流程:1.将工件组装好后,再使用相应的工装,将工件连接到氦检仪上。2.待确认连接OK后,按下氦检仪“开始”按键,氦检仪进入抽空检漏状态。3.观察氦检仪显示屏上的显示的本底值达到4.0×10-10Pa.m3/s.4.使用99.99%或999%的氨气,对工件可疑漏点,进行喷氨检测。5.每个可疑漏点,喷氨1秒,观察氦检仪本底值3-5秒。观察氦检仪本底值有没有增加或氦检仪是否有报警输出。6.按照步骤5依次检测其它可疑漏点。7.喷氨气检测顺序是从上而下,先确认大漏点,8.检测结束后,先按下氦检仪“停止按键,待氦检仪显示屏出现待机画面后,再拆卸工件。氦质谱检漏仪是质谱仪器中的一种。池州氦检设备
影响氦质谱检漏仪检测精度的因素:1、受到检测压力的影响,泄漏率对测试压力的依赖性,对不同的测量条件是不同的。一般而言,对于多孔性(如铸造气泡、裂缝)较高时,试验压力对泄漏率的影响较大,而对于多孔性较低时则影响较小。另外,随测试压力的增高,还会带来诸如温度影响,所需稳定时间加长等一系列问题。因此,建议对特定的工件可采用在一定压力范围内进行泄漏检测,然后选择一个满足测试要求的较低的压力确定为它的测试压力。2、受到检测容积的影响,在一个特定的泄漏率值里,如果检测容积增大的话,那么相应的压力降低的速度就越低,因而测量时间需要相应增加。在一些特定的条件下,如果不想方设法减少测量容积,那么可能会无法达到测量需要的精确度和灵敏度。池州氦检设备氦检仪是对密封容器的泄漏进行快速定位和定量测量的仪器。
氦质谱检漏仪定期保养该怎么做?1.对氦质谱检漏仪真空系统进行保养时,由于常见氦质谱检漏仪的真空系统部分由分子泵、前级机械泵组成,因此在常规检测时通常由前级机械泵对被检件预抽真空,当真空度达到规定压力后,再进入真空系统部分;被检件在检测前会被要求进行清洁前处理,以防止粉尘、颗粒物等污染物进入真空系统。否则将直接污染真空系统,甚至造成真空泵损坏。因此,对被检件的前处理以及对设备自身的保养清理十分重要。2.除了上述氦质谱检漏仪真空系统需要保养之外,还需要进行前级真空泵的定期换油及深度保养,以及电磁阀组的超声清洗,此外质谱模块组件的超声清洗以及分子泵也建议定期进行保养维护,避免因设备保养不及时导致设备使用寿命缩短。
氦检仪现已普遍应用于半导体设备检漏。半导体设备及材料需要检漏原因:1、半导体设备要求高真空,比如磁控溅射台、电子束蒸发台、ICP、PECVD等设备。出现泄漏就会导致高真空达不到或需要大量的时间,耗时耗力;2、在高真空环境洁净度高、水蒸气很少。一旦出现泄漏周围环境中的灰尘和悬浮颗粒或尘埃就会对晶元造成污染,对半导体的特性改变并破坏其性能,因此在半导体器件生产过程中必须进行氦质谱检漏;3、一些半导体设备要用到有毒或有腐蚀性的特殊气体,经过氦质谱检漏后,在低漏率真空条件下,这些气体不易外泄,设备能及时抽走未反应气体和气态反应产物,保障工作人员安全和大气环境。4、芯片封装,一旦出现泄漏,芯片就会失效。综上所述,氦检仪在半导体行业起着至关重要的作用。氦质谱检漏仪具有性能稳定、灵敏度高的优点。
使用氦检仪需注意哪些问题?响应时间与清理时间:正常运行的仪器响应时间与清理时间不应大于3s。氦检仪的响应时间会影响检漏工作的速度:检漏时喷有在漏孔处停留的时间应为仪器响应时间的3倍,该时间再加上氦气在真空系统中的传递时间,即为两次喷氦的较小间隔时间,当然真空系统越庞大,该间隔时间也越长。根据经验,两次喷氦的较小间隔时间控制在30s,如果第1次喷氦后30s内氦检仪还没有反应,则可进行第二次喷氦。仪器的清理时间在理论上与响应时间相同,但由于仪器零件对氦的吸附和脱附作用的影响,清理时间一般要更长些。另外,喷氦量的多少也影响清理时间的长短,喷氦时喷头移动速率合理,可以缩短仪器的清理时间,提高检漏效率。不同型号的氦检仪其真空系统有较大的差别。浙江氦检仪
氦检仪是真空检漏技术中灵敏度较高,用得较普遍的氦检仪器。池州氦检设备
氦检仪中没有手动阀,现已采用自控阀自动调节运转时的误差。同时用涡轮分子泵取代了油扩散泵,以消除可能造成的油返流。计算机技术也在氦检仪中获得应用。运转、控制和输出数据均由计算机自动操作完成。典型的示波器已由阴端射线管显像屏所代替。整个操作只须按各种按钮自动进行。氦检仪现在已经渗透到航空航天、新能源、电子器件、阀门、电力、核电、制冷、家电等行业。氦检仪在未来的岁月中还将在许多的工业领域中得到新的应用。氦检仪质量范围很宽,不只可检测氦气,而且能检测其它气体。分子泵排气系统取代扩散泵排气系统,不只解决了油蒸气对质谱室的污染问题,而且对快速启动仪器和快速停机做出了很大贡献。池州氦检设备
上海妤林真空设备技术有限公司是以提供氦气检漏仪,氦气回收系统,检漏仪,氦检仪为主的有限责任公司(自然),公司成立于2020-06-11,旗下妤林,已经具有一定的业内水平。上海妤林真空致力于构建仪器仪表自主创新的竞争力,多年来,已经为我国仪器仪表行业生产、经济等的发展做出了重要贡献。