氦质谱检漏仪是根据质谱学原理,用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子,在室内来回地振荡,并与室内气体和经漏孔进人室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子,这些氦离子在加速电场作用下进人磁场,由于洛伦兹力作用产生偏转,形成圆弧形轨道,改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。喷氦法、吸氦法是氦质谱检漏仪在电阻炉检漏中常用的两种方法。氦检仪普遍应用于压力容器、航空航天、原子能、发电厂、制冷工业等领域。小型氦气检测设备价格
氦检仪噪声是哪儿来的?高灵敏度氦检仪的噪声来源大体上可以分为两种,一个是离子流接收放大机输出电路的噪声,另一个就是本底噪声。实际上,目前通过对电子线路的改进,仪器中离子流接收放大及输出电路引起的噪声已经降到很低的一个程度,因此已经不是限制设备灵敏度的主要因素,如果特殊情况下仍然是限制灵敏度的主要因素的话,可以通过放大信号的办法来提高信噪比来改善灵敏度。而本底噪声则是由本底峰的不稳定造成,与本底的大小以及电磁场参数的稳定度有关,具体的包括:1、离子源发射电子流的不稳定性,加速电压、分析器电磁参数的不稳定性;2、氦气在真空系统内的吸附和再放出(如真空油脂、人造橡胶、有机绝缘材料都可以吸附和再放出氦气),电离真空计特别是磁放电真空计对氦气的记忆效应(被污染的情况下更为严重);3、抽气系统中氦气的反扩散与对氦气抽速的不稳定性;4、氦检仪本身漏气和氦气的渗透;5、残余气体分子对氦离子的散射等等。这些因素对本底噪声及灵敏度的影响都很大。客制化氦检设备特点氦质谱检漏仪的电流相同,漏率可能不同;或漏率不同,电流相同。
氦质谱检漏仪性能试验方法:1、反应时间、消除时间及其测定,反应时间是指仪器节流阀完全开启,本底讯号为零(或补偿到零)时,由恒定的氦流量使输仪表讯号上升到值的(1-e-1)倍(即O.63)所需要的时间,记为τR。消除时间是指输出仪表讯号稳定到固定值后,停止送氦,其讯号下降到值的e-1倍(即O.37)所需要的时间,记为τC。2、工作真空、极限真空及入口处抽速,质谱室极限真空,尤其是工作真空及入口处抽速是表征仪器性能的重要参数。利用氦质谱检漏仪的真空规可以测定仪器的极限真空和工作真空。利用流量计可测定仪器入口处抽速。
氦检仪进展的集中体现在如下几个方面:(1)便携式:较近各国推出的小型便携式氦检仪不只灵敏度高,而且便于携带,给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。(2)高压强下检漏:检漏口压强可高达数百帕左右,对检测大系统和有大漏的工件很有益。(3)自动化程度高:自动校准氦峰,自动调节零点,量程自动转换,自动数据处理,可外接打印机。整机由微机控制,菜单选择功能,一个按钮即可完成一次的全检漏过程。(4)全无油的干式检漏:有些国家生产的氦检仪,可采用干式泵,达到无油蒸气的效果,为无油系统及芯片等半导体器件的检漏,提供了有利条件。(5)检漏范围宽:现今生产的四极氦检仪,质量范围很宽,不只可检测氦气,而且能检测其它气体。氦质谱检漏仪用氦气或者氢气作示漏气体,以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。
氦质谱检漏仪调氦峰步骤:1、调氦峰方法:开漏孔开关,单方向(从75~165V或从165~75V)调加速电压“V”,使氦质谱检漏仪放大器输出表指示值出现一个Zda值,然后关漏孔开关,如表头指示值变小,说明氦质谱检漏仪接收到氦信号,即找到氦峰;如表头指示值不变,说明不是氦峰,则继续调“V”,直到找到氦峰(出现氦的“V”一般在85~150V之间)。2、调氦峰分辨不好:①氦和重离子分辨差。②氦和轻离子分辨差。3、调氦峰信号小:①灯丝没正对电离盒上的电子入口。②灯丝离电离盒太远。③分辨不好。氦质谱检漏仪具有性能稳定、灵敏度高的优点。移动式氦检机供应厂家
氦检仪紧凑的设计适合串列生产和持续工作。小型氦气检测设备价格
如何正确选择氦检仪?(1)仪器的功能是否能满足检漏的要求,如有些仪器没有逆流检漏功能,就不合适正压法检漏:有些仪器没有报废漏率的设置功能,就不宜作为批量产品筛选检漏用;流水线上要求一定的检漏速度,因此应选择有双工位的氦检仪。(2)仪器的灵敏度是否能满足检漏的要求。国内外生产的不同类型的氦检仪的灵敏度是不一样的,如果检漏要求的灵敏度较高,就要认真选择。(3)被检件如果害怕油的污染,被应选择无油真空系统的氦检仪。(4)被检件容积如果较大,必须选用预抽泵抽速答的氦检仪,否则要另配预抽泵就比较麻烦。(5)如果被检对象不固定,体积时大时小,灵敏度要求时高时低,就要选择功能较全,灵敏度较高,检漏范围宽的氦检仪。(6)如果检漏地点不固定,需要经常搬运仪器时,就要选择小型便携式仪器。(7)在满足检漏基本要求的基础上,还要综合考虑仪器的价格是否低、操作是否建议、维修是够方便等方面的问题。小型氦气检测设备价格
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