氦检仪分子泵出现故障如何快速定位维修？1.TMP(分子泵工作频率)在仪器的显示界面提示为0，即为分子泵不工作。可能是前级压力过高(分子泵启动压力为200Pa)导致分子泵不能正常启动。2.检查真空表是不是出现了问题，分子泵出口是否打开，机械泵油是否太脏，机械泵是否旋转，系统是否漏气。分子泵的叶片或转子也可能损坏。您可以使用自己的工具移动刀片来判断它是否可以旋转。分子泵加速指示灯不亮。电路板上的保险丝被烧毁了。更换保险丝或检查是否有短路。3.分子泵故障灯亮。检查电路板设置开关是否在R位置，此时应在N位置。检查风扇是否停止。如果风扇正常，可能是分子泵电源故障。请联系制造商。4.氦泄漏检测仪的灯丝不能正常启动。在确认机械泵和分子泵处于正常工作状态后，如果灯丝仍不能发射离子流，则需要更换离子源。如果灯丝指示灯闪烁，请检查航空插座和离子源端子是否开启。如果开路，请更换灯丝。如果没有，请检查端子是否与其他连接器连接，以消除短路。氦质谱检漏仪由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。南通氦气检测设备
氦检仪现已普遍应用于半导体设备检漏。半导体设备及材料需要检漏原因：1、半导体设备要求高真空，比如磁控溅射台、电子束蒸发台、ICP、PECVD等设备。出现泄漏就会导致高真空达不到或需要大量的时间，耗时耗力；2、在高真空环境洁净度高、水蒸气很少。一旦出现泄漏周围环境中的灰尘和悬浮颗粒或尘埃就会对晶元造成污染，对半导体的特性改变并破坏其性能，因此在半导体器件生产过程中必须进行氦质谱检漏；3、一些半导体设备要用到有毒或有腐蚀性的特殊气体，经过氦质谱检漏后，在低漏率真空条件下，这些气体不易外泄，设备能及时抽走未反应气体和气态反应产物，保障工作人员安全和大气环境。4、芯片封装，一旦出现泄漏，芯片就会失效。综上所述，氦检仪在半导体行业起着至关重要的作用。台式氦检仪注意事项氦质谱检漏仪的噪声主要来源于电路噪声和本底噪声。
氦质谱检漏仪的灵敏度，通常指仪器的可检漏率。记为qL.min，即在仪器处于较佳工作条件下，以一个大气压的纯氦气为示漏气体，进行动态检漏时所能检测出的漏孔漏率。所谓“较佳工作条件”是指仪器参数调整到稳定值，被检件出气少且没有大漏孔等条件。所谓“动态检漏”是指检漏仪器本身的抽气系统仍在正常抽气。仪器的反应时间不大于3s。所谓“可检率”是指检漏讯号为仪器本底噪声的两倍时，才能认定有漏气讯号输出。所谓“漏孔漏率”是指一个大气压的干燥空气通过漏孔漏向真空侧的漏气速率。仪器本底噪声，一般指在2min内输出仪表的较大的波动量，能较方便地估计检漏效果。
氦检仪的型号较多，但基本结构大同小异。它主要由质谱室、真空系统及电气部分组成。质谱室：不同类型的氦检仪的质谱室结构大同小异，都是由离子源、分析器和收集器三部分组成，它们放在一个抽成高真空的质谱室外壳中。1）离子源。离子源的作用是使气体分子电离，形成一束具有一定能量的离子。它由灯丝（阴极）、离化室及离子加速极组成。2）分析器。分析器作用是使不同质荷比的离子按不同轨迹运动，从而将它们彼此分开，只使氦离子通过其出口隙缝。分析器由一个外加均匀磁场及一个出口电极组成，磁场方向与离子束入射方向垂直。3）收集极。收集极是对准出口电极狭缝安装的，其作用是收集穿过出口电极狭缝的氦离子并通过一个电阻输入到小电流放大器进行离子流的放大和测量。由于氦离子一般只有10-13~10-12A，要使小电流放大器第1极输入信号电压足够大，则输入电阻必需很大（一般高于1010欧），第1级放大用的静电计管必须要高度绝缘，所以把高阻及静电计管放在高真空的质谱室中。氦检仪不只灵敏度高，而且操作方便；
氦检仪灵敏度高、操作便捷、低维护，使您放心得到准确可靠的测试结果。产品普遍应用于科研院所、航空航天、动力锂电池，阀门、精密仪表、机械加工、电力、半导体、光伏、真空镀膜、真空热处理等。氦检仪关键部件均为进口，性能稳定可靠。不只灵敏度高，而且操作方便，能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。氦检仪是对比性测试仪器，其工作原理是对进入质谱室的氦气分子电离，轰击靶心产生电离，并放大，通过电流大小的判断氦气分子的多少！进入质谱室氦气分子的比例（分流比），还有电气参数的不同，电流相同，漏率可能不同；或漏率不同，电流相同；所有氦检仪本身并不知道放大后的电流对应的漏率是多少，需要参照物，这个参照物就是标准漏孔。氦质谱检漏仪改变了常规型仪器的结构布局。小型氦气检测设备品牌推荐
氦质谱检漏仪应每隔一段时间保养油泵。南通氦气检测设备
任何仪器在制作过程中难免会遇到密封不严的情况，某些不重要的设备中轻微的泄露没有太大关系，但是汽车管路作为汽车转配中的重要零部件，关系着车辆和乘员的安全。良好的密封才能决定仪器的正常使用，所以检漏十分重要!传统的检漏方法：如加压水检法、压差法、卤素检漏法，在检漏速度、精度及环保性能上都有一定程度的缺陷，而氦检漏技术，是集真空技术、计算机技术及质谱技术为一体的应用技术，为汽车空调两器及管路提供专业的检漏方案。氦检仪可靠的品质保证普遍的市场应用，氦检仪适用于工业、分析研究、镀膜市场等。检漏时，如果用氦气喷吹漏孔，氦气便通过漏孔进入氦检仪的质谱室中，使氦检仪的测量仪表立即灵敏地反应出来，达到了检漏的目的。此款氦检仪坚固耐用，抗震性能极强，可反复使用数年仍保证的检漏漏率。氦检仪紧凑的设计适合串列生产和持续工作。南通氦气检测设备
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