氦质谱检漏仪的检漏方式:1、钟罩法——测总漏率,将被检件与仪器检漏口联接抽真空,在被检件外面罩以充满氦气的容器,如被检件有漏孔,氦气便由漏孔进入被检件,达到质谱管被检测。所测漏率是被检件的总漏率,不能确定有几个泄漏点和每个漏点的准确位置。可以看出钟罩法是基于喷吹法的一种检漏方法。2、背压法——测总漏率,进行电子元器件气密性检测时常用背压法。检漏前用特定加压容器向被检件压入氦气(由压力和时间控制压入的量),然后取出被检件,吹去表面吸附氦后放入特定检漏罐中,再将检漏罐联接到检漏仪的检漏口上,对检漏罐抽真空,实施检漏。若器件有漏,则通过该漏孔压人的氦气又释放出来进入检漏罐,到达质谱管。用这种方法测得的漏率也是总漏率。氦质谱检漏仪能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。苏州小型氦质谱检漏仪技术指导
氦质谱检漏仪的结构组成:它通过质谱室的重点供电和测量,所以作为供电的重点部分,其中一部分属于真空部分,对这部分的重点检测要求非常高,通过检测中获得的检测数据输出形成重点装置。然后氦质谱检漏仪主要通过控制电流输出的大小,由于气密性检测仪离子流收集极接收到的离子流很小,必须放大后才能显示输出。通过交流放大器放大调制的离子流。输出信号由显示仪表和声音装置(扬声器)指示。低频发生器,低频发生器产生频率为5~7Hz,振幅为14~16V的调制电压,该电压叠加在加速电压上,实现离子流调制。高压整流器和发射电流稳定装置。发射电流稳定装置是调节灯丝加热电流,从而保持灯丝发射电流稳定,提高灵敏度。发射电流可以分几个档次进行有级调节,以改变仪器的灵敏度。高压整流器提供冷阴极磁控电源。真空规放电电流指示气体压力值,由仪器显示,其放电电流也作为继电保护的输入信号。当质谱检漏仪室真空度恶化时,放电电流增大,使继电器动作,然后切断灯丝加热电流,保护灯丝不被烧毁。宁波全自动氦质谱检漏仪大概多少钱氦质谱检漏仪为气体工业名词术语。
氦质谱检漏仪关机步骤:1、关冷规,关抽速阀。2、将总电源转到“前级泵”。3、等20分钟左右,扩散泵已冷,将总电源转到“关”。氦质谱检漏仪检漏注意事项:1、工件要保持清洁、干燥。2、对工件喷氦应按以下顺序进行:①从上往下。②从靠近测试口到远离测试口。3、喷氦时应经常检查喷口口是否有氦气喷出。4、检完工件,必须将“节流阀”关闭,才能取工件。5、对同一工件,如有两处以上漏点,应排除Zda的漏点后,再对其它地方检漏。6、装工件时应使连接处密封好,不能有漏。7、检漏间应通风良好,避免氦气浓度,但应避免强通风。8、氦气属贵重气体,应避免泄漏浪费。
氦质谱检漏仪进展集中体现如下方面:1.智能化:以往的氦质谱检漏仪操作非常辅助,而现在的触屏式,自动检测。2.便捷化:这几年市场上各种小型便捷的检漏仪能够为行业提供小巧而灵敏性高的设备。3.自动化程度高:自动校准氦峰,自动调节零点,量程自动转换,自动数据处理,可外接打印机。整机由微机控制,菜单选择功能,一个按钮即可完成一次的全检漏过程。4.全无油的干式检漏:有些国家生产的检漏仪,可采用干式泵,达到无油蒸气的效果,为无油系统及芯片等半导体器件的检漏,提供了有利条件。5.检漏范围宽:现今生产的检漏仪,质量范围很宽,不但可检测氦气,而且能检测其它气体。氦质谱检漏仪中氦质谱检漏系统的关键部件均为进口,性能稳定可靠。
氦质谱检漏仪的优点集中在以下几个方面:(1)便携性:许多小型便携式检漏仪不只灵敏度高,而且便于携带,为野外作业和高空作业提供了极大的便利。(2)高压强下检漏:检漏口的压力可高达数百帕,对于检测大系统和泄漏工件非常有用。(3)高度自动化:氦峰自动标定,零点自动调整,量程自动转换,数据自动处理,可外接打印机。全机由微电脑控制,具有选菜功能,一键完成全检漏过程。(4)完全无油的干式检漏:一些国家生产的检漏仪可以采用干式泵,达到无油蒸汽的效果,为无油系统、晶片等半导体器件的检漏提供了有利条件。为适应检漏口压力的变化和对灵敏度的不同要求,分子泵一般采用多段结构,多速。如果改变分子泵的转速,可以达到这个目的,提高检漏灵敏度。此外,反扩散检漏方法实现了高压强下检漏,也为正压吸口检漏提供了良好的条件。氦质谱检漏仪主要技术参数:可检漏率:5×10-12Pa·m3/s。苏州小型氦质谱检漏仪技术指导
氦质谱检漏仪捡漏方法基本上可分为用氦气内部加压法和设备内部抽真空外部施氦这两种。苏州小型氦质谱检漏仪技术指导
检漏仪的维护保养常识:适当的维护您的检漏仪是非常必要的,具体步骤如下:1、探头清洁:利用附送的防护罩防止灰尘、水汽、油脂阻塞探头,在使用本仪器前,均要检查探头和防护罩确无灰尘或油脂。2、拉下防护罩;3、用工业毛巾或压缩空气清洁防护罩;4、如果探头本身也脏,可浸入像酒精等温和清洗剂几秒钟,然后用压缩空气或工业毛巾清洁,严禁用像汽油、松节油、矿物油等溶剂,这样易降低仪器灵敏度。5、探头更换:探头用久了总要失效,需更换。由于探头寿命直接和使用条件和频次相关,因此较难预计准确的更换时间。当在清洁、纯净空气中报警或不稳定时,应更换探头。苏州小型氦质谱检漏仪技术指导
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