氦检仪的工作原理：氦检仪先在质谱室中将采集的被测气体电离，再利用电磁场将不同荷质比的离子加以分离检测,从中检测出事先安排的示踪氦离子，主要由三大组件构成:真空系统、质谱室和电子学控制单元。氦检仪内部配有一台旋片式真空泵,用以维持仪器内部的高真空。质谱室是氦检仪的重点部分，它包括离子源、聚焦、质量分析器和测量部分。质谱室入口连接在涡轮分子泵的前级真空部分，分子泵对不同的气体具有不同的压缩比特性，氦气的压缩比很小，可以逆着分子泵的抽气方向流动进入质谱室。在质谱室中氦气被电离，氦离子通过质量分析器的筛选到达收集极，产生一个正比于离子数量的电流信号，该信号经过放大和处理即为泄漏率。氦检仪内部配有一台旋片式真空泵,用以维持仪器内部的高真空。国产氦检机工作原理
氦质谱检漏仪安装时要远离烟尘、注意防潮、定期清洁除尘、定期检查是否灵敏，避免失灵等等。氦质谱检漏仪中都有检测器，一般检测的寿命越长越好，一般来说氦质谱检漏仪的平均寿命在2-5年，抗干扰，误差越小越好。要定期进行滤纸更换，在传感器规定时间内使用，不同的传感器之间可能会有干扰要注意还要注意电磁的干扰。防止元件的老化，及时更换零件。测定漏率型主要是针对密封性要求严格的部件进行检测，如宇宙飞船、火箭液体燃料储料箱、卫星、电子元器件等。镇江氦气检测设备氦质谱检漏仪的检漏方式通常有两种，一种为常规检漏，另一种为逆扩散检漏。
氦检仪的型号较多，但基本结构大同小异。它主要由质谱室、真空系统及电气部分组成。质谱室：不同类型的氦检仪的质谱室结构大同小异，都是由离子源、分析器和收集器三部分组成，它们放在一个抽成高真空的质谱室外壳中。1）离子源。离子源的作用是使气体分子电离，形成一束具有一定能量的离子。它由灯丝（阴极）、离化室及离子加速极组成。2）分析器。分析器作用是使不同质荷比的离子按不同轨迹运动，从而将它们彼此分开，只使氦离子通过其出口隙缝。分析器由一个外加均匀磁场及一个出口电极组成，磁场方向与离子束入射方向垂直。3）收集极。收集极是对准出口电极狭缝安装的，其作用是收集穿过出口电极狭缝的氦离子并通过一个电阻输入到小电流放大器进行离子流的放大和测量。由于氦离子一般只有10-13~10-12A，要使小电流放大器第1极输入信号电压足够大，则输入电阻必需很大（一般高于1010欧），第1级放大用的静电计管必须要高度绝缘，所以把高阻及静电计管放在高真空的质谱室中。
氦检仪喷氦法检测优点：1．检测灵敏度高，可精确定位。2．能实现大容器或复杂结构产品的检漏。氦检仪喷氦法法检测标准：检测标准主要有QJ3123-2000《氦质谱真空检漏方法》、GB／T15823-2009《氦泄漏检验》。氦检仪喷氨法检漏流程:1.将工件组装好后，再使用相应的工装，将工件连接到氦检仪上。2.待确认连接OK后，按下氦检仪“开始”按键，氦检仪进入抽空检漏状态。3.观察氦检仪显示屏上的显示的本底值达到4.0×10-10Pa.m3/s.4.使用99.99%或999%的氨气，对工件可疑漏点，进行喷氨检测。5.每个可疑漏点，喷氨1秒，观察氦检仪本底值3-5秒。观察氦检仪本底值有没有增加或氦检仪是否有报警输出。6.按照步骤5依次检测其它可疑漏点。7.喷氨气检测顺序是从上而下，先确认大漏点，8.检测结束后，先按下氦检仪“停止按键，待氦检仪显示屏出现待机画面后，再拆卸工件。氦质谱检漏仪为什么会选择氦气作为主要的示漏气体？
氦质谱检漏仪的灵敏度，通常指仪器的可检漏率。氦质谱检漏仪主要技术指标：1.可检漏率：5×10-12Pa·m3/s；2.漏率显示范围：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s；3.启动时间：≤5min；4.响应时间：≤1s；5.检漏口的压力：1500Pa；6.电源要求：220v，50Hz，单相，10A；7.工作环境：5-35℃；8.相对湿度：≤80%；9.外形尺寸：550（w）×400（D）×780（H）；10.重量：64kg。使用环境：环境温度：5～35℃；相对湿度：<80%；供电电压：单相交流220V±10%，50Hz工作电流：10A。氦检仪是真空检漏技术中灵敏度较高，用得较普遍的氦检仪器。国产氦检机工作原理
氦检仪检漏范围宽：不只可检测氦气，而且能检测其它气体。国产氦检机工作原理
氦检仪的基本原理是采集被检件中的气体将其电离，根据不同种类气体离子质荷比不同的特点，利用磁偏转分离原理将其区分开来。仪器只对示漏气体氦气有相应信号，而对其他气体没有反应，属于唯1性氦检仪器。检漏过程中，一旦出现信号，就说明有氦气通过漏孔进入被检件，从而指示出漏孔的位置与大小。而之所以选择氦气作为示漏气体，主要是因为氦质量轻，易于穿过漏孔，扩散快，对分析设备制造的要求相对简单；同时氦气在空气中含量少，本底压力小，又为惰性气体，不易发生反应等等，都为提高仪器灵敏度创造了条件。国产氦检机工作原理
上海妤林真空设备技术有限公司成立于2020-06-11，同时启动了以妤林为主的氦气检漏仪，氦气回收系统，检漏仪，氦检仪产业布局。上海妤林真空经营业绩遍布国内诸多地区地区，业务布局涵盖氦气检漏仪，氦气回收系统，检漏仪，氦检仪等板块。随着我们的业务不断扩展，从氦气检漏仪，氦气回收系统，检漏仪，氦检仪等到众多其他领域，已经逐步成长为一个独特，且具有活力与创新的企业。上海妤林真空始终保持在仪器仪表领域优先的前提下，不断优化业务结构。在氦气检漏仪，氦气回收系统，检漏仪，氦检仪等领域承揽了一大批高精尖项目，积极为更多仪器仪表企业提供服务。
