氦检仪是什么？氦检仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，它具有性能稳定、灵敏度高的特点。是真空检漏技术中灵敏度较高，用得较普遍的氦检仪器。氦检仪是磁偏转型的质谱分析计。单级磁偏转型仪器普遍地用于各种真空系统及零部件的检漏。双级串联磁偏转型仪器与单级磁偏转型仪器相比较，本底噪声明显减小。适用于超高真空系统、零部件及元器件的检漏。氦检仪由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。氦检仪不只灵敏度高，而且操作方便；真空氦检仪工作原理
氦质谱检漏仪操作注意事项：1、产品放入加压罐中加压时，不能直接拆除加压罐。必须先把加压罐里面的气体排出才能打开。由于加压罐中压力比空气中的压力大以防造成一定的伤害因此在加压过程中不能让不相干的人员靠近并在加压罐上方贴一个警告标识。2、氦气减压阀连接气瓶接口处要锁紧不能有松动情况。以防气体冲击带来伤害。3、产品半检漏时，按压住的组件不能挪动或者强行扳开。以防气体冲击带来伤害。4、在进行重氟油检漏时，产品不能直接放进油箱中，而应把油箱中的托盘拿出，把产品放在其上在慢慢放入油中。以防止油飞溅烫伤。无损氦气检测设备厂家推荐氦质谱检漏仪改变了常规型仪器的结构布局。
便携式氦质谱检漏仪的明显优点：1、性价比高：便携式氦质谱检漏仪是一款实用的检漏仪，可覆盖广大的应用领域，竞争性的价格及较低的使用成本，大抽速前级泵的设计，可缩短抽气时间，提高使用效率；2、自我保护功能：在突然暴露大气和突然断电时具有保护功能，系统的逆扩散设计保护了质谱室的清洁、真空，且不需要液氮；3、结构灵活：可采用主机与前级泵单独采买，前级泵可使用油封式旋片泵或涡卷式干泵，对于便携式氦质谱检漏仪，既可选择带有连接配件的主机形式，也可选择安装在两轮小车上的整体形式。
氦质谱检漏仪检漏时，产生测量误差的主要来源主要包括几个方面：一、氦质谱检漏仪在校准灵敏度时，标准漏孔所在的位置与被检漏孔的位置不同，即，标准漏孔与被检漏孔至检漏仪的距离相差太大，漏入氦气在途中损失不相等，这会导致经二者进入检漏仪的氦气量可比性差。二、进入被检漏孔和标准漏孔的氦气压力或分压比不相等，或者不能准确地给出氦气压力和分压比的数值而导致无法换算，这时也会产生漏率测量误差。三、所用标准漏孔的标称漏率有误差。四、氦质谱检漏仪输出指示与漏率的线性关系差。氦检仪喷氦法检测灵敏度高，可精确定位。
氦检仪的捡漏方法有哪些？背压法（压氦法）真空模式。工件先在压氦罐中打入高压氦气，迫使氦气进入泄漏工件，再放入检漏罐中检测是否有氦气漏出。可根据工件大小定制罐体大小。可检测工件的整体漏点。检测精度较高。适用行业：电子元器件，电子封装等。氦质谱检漏背压法优点：检测灵敏度高；可以进行批量化检测；一般小型电子器件宜采用这种检漏方法。首先将仪器调整好，再将器件放入加压罐内压入氦气，氦气进入有漏孔的器件内部，无漏孔的器件只是表面吸咐氦气。器件加压压力和时间根据GB2423，2328文件而定，器件从加压罐中取出后将表面吸咐的氦气吹掉再放入检漏夹具中抽空，待真空抽至设定值后自动将夹具连至仪器的测量系统。这时压入存在漏孔器件内部的氦气泄漏出来被检测，其漏率在漏率表上显示出来。一般压氦法检漏时采用排除法。在夹具中放一定数量的器件，这一批的总漏率没超过报废预定值，说明这一批合格；总漏率超过报废预定值可以取出一半，剩下的一半继续检漏，这一半合格说明有漏的器件在取出的那一半中，依此检漏直至检出有漏孔的器件。氦质谱检漏仪的本底噪声，一般指在2min内输出仪表的较大的波动量，能较方便地估计检漏效果。真空氦检仪工作原理
氦质谱检漏仪的灵敏度可达10-12Pam3/s。真空氦检仪工作原理
氦质谱检漏仪对检漏方法的具体要求：1、检漏灵敏度高，可以检出很小的漏孔；2、反应时间短，可以提高工作效率；3、能定位、定量，不但能够找出漏孔的位置，还能知道漏率的大小，以便确定是否合乎质量要求；4、能无损检漏，不使被检设备受到损伤和污染；5、稳定性好，即可以在足够长时间内灵敏度稳定可靠；6、所用“示踪气体”在空气中含量低，无毒，不腐蚀零件；7、检漏范围大，从大漏孔到小漏孔都能检测到，以减少检漏设备的数量和费用；8、检漏时洁净无油，满足一些特殊的要求。真空氦检仪工作原理
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