氦质谱检漏法由于其高的灵敏度、方法的多样性、对各种试件的适应性以及无破坏性,使其普遍应用。主要领域和产品如下:原子能工业气体扩散处理系统、核燃料容器;高能物理研究院加速器及其配件;电力工业高压开关、避雷器、发电厂冷凝器系统;电力工业电子器件、半导体、传感器和积成电路;航空航天燃料箱、油箱、卫星及各种电机等;仪表制造压力传感器、阀门、波纹管和密封焊接件等;空调制冷工业压缩机、冷凝器、蒸发器及阀门等;真空科学与工业泵、阀门、真空规管以及镀膜机、真空炉等真空系统;冶金真空电炉;低温与压力容器液氮和液氦储存罐、生物制品容器及各类压力容器;轻工产品保温杯、太阳能集热管、饮料罐口等。氦质谱检漏仪的灵敏度可达10-12Pam3/s。嘉兴全自动氦质谱检漏仪工作原理
氦质谱检漏仪的维护方法及常见故障的处理:一、机械维护,检查泵的油量,如果低于低标线,则加入泵油;如果变黑或浑浊,则更换泵。使用方法见机械泵说明书。二、清洗,泄漏探测器没有氦进入,但有一定的泄漏率指示,长期存在。这主要是由于检漏口、波纹管、密封圈等被污染后吸附的氦气,在检漏时又被释放,造成较大的底部。为防止油污、粉尘和杂物进入氦质谱检漏仪,在氦质谱检漏仪下方设置过滤器,将其拆下,用酒精浸泡清洗。检查泄漏,用棉布擦拭波纹管。三、处理以下是常见的故障现象、原因及解决方法。断电:1.电源线连接不当;2、保险管熔断。3、重新接通电源。4.更换相同规格的保险管。嘉兴全自动氦质谱检漏仪价钱怎么确定氦质谱检漏仪用于镀膜设备的灵敏度?
氦质谱检漏仪真空系统:氦质谱检漏仪的真空系统部分由分子泵、前级机械泵组成。在常规检测时通常由前级机械泵对被检件预抽真空,当真空度达到一定压力后,再进入真空系统部分;被检件在检测前会被要求进行清洁前处理,以防止粉尘、颗粒物等污染物进入真空系统;否则将直接污染真空系统,甚至造成真空泵损坏;所以被检件的清洁前处理及对设备自身定期的保养清理尤为重要。设备自身保养小知识:(1)前级真空泵的定期换油及深度保养;(2)电磁阀组的超声清洗;(3)质谱模块组件的超声清洗以及分子泵的定期保养维护。
氦质谱检漏仪开机如何操作?1、将总电源转到“前级泵”,低真空表头指示值应从左向右逐渐上升至2~15Pa,开抽速阀,开漏孔开关,表头示值也应能抽到原来位置,再关抽速阀。2、将总电源转到“扩散泵”,灯亮,扩散泵开始加热。3、等20分钟左右,扩散泵排气管应热,开冷规开关,“质谱室压强”表头指针应从左打向右(即冷规已激发)再关冷规。4、开抽速阀,过几分钟后开冷规,表头指针应从左打向右,再从右向左逐渐上升(真空示值在1×10-2Pa以下请不要长时间开冷规,可等一会儿再开),当真空示值超过1×10-2Pa后,可启动灯丝,灯亮,“发射电流”有指示,开、关漏孔检查氦质谱检漏仪灵敏度(可调加速电压使信号指示Zda),灵敏度达要求后关漏孔。将工件用外接泵抽上真空后,开节流阀至冷规指示值为5×10-3~1×10-2Pa之间,对工件喷氦检漏。检漏完,关节流阀。氦质谱检漏仪由于其高的灵敏度、方法的多样性、对各种试件的适应性以及无破坏性,使其普遍应用。
氦质谱检漏仪背压法原理:采用背压法检漏时,首先将被检产品置于高压的氦气室中,浸泡数小时或数天,如果被检产品表面有漏孔,氦气便通过漏孔压入被检产品内部密封腔中,使内部密封腔中氦分压力上升。然后取出被检产品,将表面的残余氦气吹除后再将被检产品放入与检漏仪相连的真空容器内,被检产品内部密封腔内的氦气会通过漏孔泄漏到真空容器,再进入氦质谱检漏仪,从而实现被检产品总漏率测量。检漏仪给出的漏率值为测量漏率,需要通过换算公式计算出被检产品的等效标准漏率。背压法的优点是检测灵敏度高,能实现小型密封容器产品的泄漏检测,可以进行批量化检测。氦质谱检漏仪具有检测速度快、检测灵敏度高、抗干扰能力强等特点。嘉兴全自动氦质谱检漏仪价钱
氦质谱检漏仪应该如何选择?嘉兴全自动氦质谱检漏仪工作原理
氦质谱检漏仪的结构解析:真空系统,真空系统是提供质谱室正常工作的条件。由于钨阴极正常工作时需要具备0.001-0.01Pa的真空度,同时保证氦离子在分析器中的运动有较高的传输率,因此建立一个高真空系统是必要的。系统中的节能阀则是为了满足质谱室工作压力的调节,该阀全开时检漏灵敏度较高,因此在条件允许情况下开启大些为宜。检漏时为了校准检漏灵敏度,系统中设置了标准漏孔。辅助真空系统的配置,在氦质谱仪检漏技术中,根据被检件的结构,尺寸要求和具体的检漏条件,设置具有预抽被检件、保证检漏仪工作真空度、进行的气体分流、缩短反应时间和清理时间、降低对灵敏度的不良影响等功能的辅助真空系统,在某些条件下是非常必要的。嘉兴全自动氦质谱检漏仪工作原理
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