氦质谱检漏仪的优点集中体现在以下几个方面：（1）便携式：很多小型便携式检漏仪不但灵敏度高，而且便于携带，给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。（2）高压强下检漏：检漏口压强可高达数百帕左右，对检测大系统和有大漏的工件很有益。（3）自动化程度高：自动校准氦峰，自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。整机由微机控制，菜单选择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。（4）全无油的干式检漏：有些国家生产的检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。氦质谱检漏仪是根据被检工件的不同它所使用的检漏方法也是不同的。安徽模块式氦质谱检漏仪使用方法
氦质谱检漏方法 ( 以下简称氦检)以其高灵敏度和准确性而通常应用于整体防漏等级较高的压力容器上。 氦检方法基本上可分为用氦气内部加压法和 设备内部抽真空外部施氦这两种，由于后者需将 设备完全抽成真空状态， 往往会增加测试用设备( 如高、低压真空泵、真空阀等)和设备工装 ( 如 外压加强圈)而使造价提高，所以该方法通常用于容积小而厚壁的设备;对于大多数压力容器而言，通常优先选用前一种方法。于氦检是通过氦穿过漏孔来检漏的，所以焊缝表面若存有油污、 焊渣以及设备内部的积水、污垢等都会使泄漏孔暂时阻塞而影响检测结果，因此，测试前必须设备内部清理干净及焊缝表面并用热风装置将设备内部干燥。嘉兴国产氦质谱检漏仪费用氦质谱检漏仪由于其高的灵敏度、方法的多样性、对各种试件的适应性以及无破坏性，使其普遍应用。
氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进人室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进人磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。喷氦法、吸氦法是氦质谱检漏仪在电阻炉检漏中比较常用的两种方法。氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏效率高，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在电阻炉检漏中得到了普遍应用。
氦质谱检漏仪背压法检漏的注意事项：检漏过程会有以下现象：1.氦质谱检漏仪只能检测微漏的工件；大漏的工件，在清氦过程，压入内部的氦气就可能泄露出来，在氦检时就检测不到氦气漏出。2.工件清氦后，放置待检时间不要超过1小时，防止压入的氦气漏出。3.实验测试时是单独检测工件；批量检测时检漏仪的本底值会成倍的大于单独检测的本底值。4.批量检测时，发现有漏件，可以逐渐减半的方式，找到具体的漏件。5.每次检测时，可以空检检漏罐并记录相应的漏率值，做为检测的对比参数。氦质谱检漏仪从以往的单方面领域的应用到现在多领域的应用，如：航空航天高科技工业、电力行业、电子行业、真空仪器仪表行业、核工业、制冷行业、不锈钢保温器皿等。氦质谱检漏仪是真空检漏技术中灵敏度较高，用得比较普遍的检漏仪器。
氦质谱检漏仪日常维护：1、定期更换灯丝，清洗冷规。2、定期更换机械泵油，适时对机械泵加油。3、如加液氮，需定期清洗冷阱。4、拆卸氦质谱检漏仪部件后，安装时要避免安装处出现泄漏。5、适时对氦质谱检漏仪可能出现的泄漏处(如放气阀)进行清洗，排除漏点。氦质谱检漏仪灵敏度降低怎么维护？先用较细的高标号金相砂纸小心细致地擦洗分析管道的内表面及离子源各电极部件，这里不能用粗砂纸，因为粗砂纸容易损伤真空分析管道及离子源的各电极部件；然后用航空汽油或无水乙醇清洗，并用去离子水冲洗干净；较后用烘箱或电吹风进行干燥。整个清洗过程中需要注意，分析管道上的磁铁不能撞击、不能受热，否则可能导致磁铁退磁，使检漏仪的灵敏度降低。如果操作正确，经过清洗维护后的氦质谱检漏仪的灵敏度可比清洗前提高2～3倍。怎么确定氦质谱检漏仪用于镀膜设备的灵敏度？无锡移动式氦质谱检漏仪使用方法
具有性能稳定、灵敏度高等特点。安徽模块式氦质谱检漏仪使用方法
氦质谱检漏仪真空系统：氦质谱检漏仪的真空系统部分由分子泵、前级机械泵组成。在常规检测时通常由前级机械泵对被检件预抽真空，当真空度达到一定压力后，再进入真空系统部分；被检件在检测前会被要求进行清洁前处理，以防止粉尘、颗粒物等污染物进入真空系统；否则将直接污染真空系统，甚至造成真空泵损坏；所以被检件的清洁前处理及对设备自身定期的保养清理尤为重要。设备自身保养小知识：（1）前级真空泵的定期换油及深度保养；（2）电磁阀组的超声清洗；（3）质谱模块组件的超声清洗以及分子泵的定期保养维护。安徽模块式氦质谱检漏仪使用方法
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