氦质谱检漏仪背压法原理:采用背压法检漏时,首先将被检产品置于高压的氦气室中,浸泡数小时或数天,如果被检产品表面有漏孔,氦气便通过漏孔压入被检产品内部密封腔中,使内部密封腔中氦分压力上升。然后取出被检产品,将表面的残余氦气吹除后再将被检产品放入与检漏仪相连的真空容器内,被检产品内部密封腔内的氦气会通过漏孔泄漏到真空容器,再进入氦质谱检漏仪,从而实现被检产品总漏率测量。检漏仪给出的漏率值为测量漏率,需要通过换算公式计算出被检产品的等效标准漏率。背压法的优点是检测灵敏度高,能实现小型密封容器产品的泄漏检测,可以进行批量化检测。氦质谱检漏仪实现了自动氦峰扫描、自动调零、自动校准和自动量程切换。真空氦质谱检漏仪供应厂家
氦质谱检漏仪测试高纯气体管道的方法:1. 确认系统中所有的阀门和调压阀都是全开的。2. 确认系统中的压力为0,如果系统中还有正压,要先将系统中的气体放掉。3. 缓缓打开检漏仪入口处的阀门,开始将系统抽成真空状态。遵照检漏仪的操作说明操作,直至达到可以检测的状态。4. 记录下检漏仪的背景氦漏率,该背景氦漏率低于1 ×10-9 mbar.l/s以后,才可以进行喷吹工作。5. 从较靠近检漏仪的焊道或连接处开始检测,将氦气用喷口喷吹到焊道或连接处,使得氦气会停留在焊道或连接处一段时间,确认没有泄漏后,进行下一个焊道或连接处的检测,直到较后一个焊道或连接处。杭州氦质谱检漏仪技术指导氦质谱检漏仪通过质谱室的重点供电和测量,成为供电的重点部分。
氦质谱检漏仪开机如何操作?1、将总电源转到“前级泵”,低真空表头指示值应从左向右逐渐上升至2~15Pa,开抽速阀,开漏孔开关,表头示值也应能抽到原来位置,再关抽速阀。2、将总电源转到“扩散泵”,灯亮,扩散泵开始加热。3、等20分钟左右,扩散泵排气管应热,开冷规开关,“质谱室压强”表头指针应从左打向右(即冷规已激发)再关冷规。4、开抽速阀,过几分钟后开冷规,表头指针应从左打向右,再从右向左逐渐上升(真空示值在1×10-2Pa以下请不要长时间开冷规,可等一会儿再开),当真空示值超过1×10-2Pa后,可启动灯丝,灯亮,“发射电流”有指示,开、关漏孔检查氦质谱检漏仪灵敏度(可调加速电压使信号指示Zda),灵敏度达要求后关漏孔。将工件用外接泵抽上真空后,开节流阀至冷规指示值为5×10-3~1×10-2Pa之间,对工件喷氦检漏。检漏完,关节流阀。
氦质谱检漏仪中氦质谱检漏系统的关键部件均为进口,性能稳定可靠。修长的体积,优越的性能,适用于众多行业。运用了氦质谱和逆扩散原理,采用了原装进口分子泵、180°非均匀磁场和全自动控制技术,实现了自动氦峰扫描、自动调零、自动校准和自动量程切换,具有检测速度快、检测灵敏度高、抗干扰能力强等特点。氦质谱检漏仪可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。 此检测方法使用的示踪气体选择了氦气,氦气具有质量数小、重量轻并且有渗透能力强的优点,达到了细检漏的目的。氦质谱检漏仪特点:1.检测时间和响应周期非常短,可以达到2s以内;2.检测的介质比较常用,只需压缩空气即可;3.多种大漏保护模式,充分保护离子源不被氧化和暴漏大气时分子泵不被冲击。氦质谱检漏仪的灵敏度可达10-12Pam3/s。
氦质谱检漏仪真空法原理:采用真空法检漏时,需要利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空,采用氦罩或喷吹的方法在被检产品外表面施氦气,当被检产品表面有漏孔时,氦气就会通过漏孔进入被检产品内部,再进入氦质谱检漏仪,从而实现被检产品泄漏量测量。按照施漏气体方法的不同,又可以将真空法分为真空喷吹法和真空氦罩法。其中真空喷吹法采用喷口的方式向被检产品外表面喷吹氦气,可以实现漏孔的精确定位; 真空氦罩法采用有一定密闭功能的氦罩将被检产品全部罩起来,在罩内充满一定浓度的氦气,可以实现被检产品总漏率的测量。真空法的优点是检测灵敏度高,可以精确定位,能实现大容器或复杂结构产品的检漏。氦质谱检漏仪虽然是因为选用氦气作为示漏气体而得名,但实际上涉及的示漏气体包括氦气、氢气等。杭州氦质谱检漏仪技术指导
氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术。真空氦质谱检漏仪供应厂家
氦质谱检漏仪应该如何选择?1、仪器的功能能满足检漏的要求。如有些仪器没有逆流检漏功能,就不适合吸口法检漏;有些仪器没有报废漏率的设置功能,不宜作为批量产品筛选检漏用;流水线上要求一定的检漏速度,此时应选择有双工位的检漏仪。2、仪器的灵敏度能满足检漏的要求。国内外生产的不同类型的氦质谱检漏仪的灵敏度是不一样的,如果检漏要求的灵敏度较高,就要认真选择。3、被检件如果害怕油的污染,就应选择无油真空系统的检漏仪。4、被检件容积如果较大,必须选用抽泵抽速大的检漏仪,否则就要外加预抽泵。5、如果被检对对象不固定,体积时大时小,灵敏度要求时高时低时,就要选择功能较全、灵敏度较高、检漏范围宽的检漏仪。6、如果检漏地点不固定,需要经常搬运仪器时,就要选择小型便携式仪器。7、在满足上述检漏基本要求的基础上,还要综合考虑仪器的价格是否低、操作是否简易、维修是否方便等方面的问题。真空氦质谱检漏仪供应厂家
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