氦质谱检漏仪的检漏方式通常有两种，一种为常规检漏，另一种为逆扩散检漏。逆扩散检漏是把被检件接在分子泵出气口一端，漏入的氦气由分子泵出气口逆着泵的排气方向进入安装在泵的进气口端的质谱管内而被检测。这一检漏方式是基于分子泵对不同质量的气体具有不同压缩比(气体在分子泵出气口压强与进气口压强之比)即利用不同气体的逆扩散程度不同程度而设计的。氦质谱检漏仪是根据被检工件的不同它所使用的检漏方法也是不同的。对产品检漏前首先要对工件的结构和制造工业有所了解，了解有哪些漏源，才能快，准，狠的完成检漏。氦检仪紧凑的设计适合串列生产和持续工作。无锡全自动氦质谱检漏仪工作原理
氦检仪现已普遍应用于半导体设备检漏。半导体设备及材料需要检漏原因：1、半导体设备要求高真空，比如磁控溅射台、电子束蒸发台、ICP、PECVD等设备。出现泄漏就会导致高真空达不到或需要大量的时间，耗时耗力；2、在高真空环境洁净度高、水蒸气很少。一旦出现泄漏周围环境中的灰尘和悬浮颗粒或尘埃就会对晶元造成污染，对半导体的特性改变并破坏其性能，因此在半导体器件生产过程中必须进行氦质谱检漏；3、一些半导体设备要用到有毒或有腐蚀性的特殊气体，经过氦质谱检漏后，在低漏率真空条件下，这些气体不易外泄，设备能及时抽走未反应气体和气态反应产物，保障工作人员安全和大气环境。4、芯片封装，一旦出现泄漏，芯片就会失效。综上所述，氦检仪在半导体行业起着至关重要的作用。无锡氦质谱检漏仪注意事项氦质谱检漏仪应用领域：学校科研单位、真空制造、真空镀膜、航空航天等。
氦质谱检漏仪为什么会选择氦气作为主要的示漏气体？1、氦气的质量轻，易于穿过漏孔，进入系统时流动和扩散快，因此响应快，检漏灵敏度高。2、氦离子质荷比小，因此可以减小磁分析器偏转半径的尺寸和选用较弱一点的磁场。同时一阶氦离子的质荷比与一阶氢离子、二阶碳离子相差较大，利于离子分离，可以适当降低对分析器制造精度的要求，使质谱室中氦离子通过的各个缝隙，从而提高氦离子的传输率。3、氦在空气中及残余气体中的含量少，在材料出气中氦气也很少，因此本底压力小，检漏时本底信号小。
氦检仪机械泵故障及处理：1、机械泵不动作，检查项目有：氦检仪电源电压是否正常，开关是否打开，绕组是否断路或接地，电机是否过热(泵冷却后是否能启动)。2、机械泵声音异常，检查油位是否合适，油质是否变坏，油温是否<10℃，油雾过滤器的出口有无气体排出(如果无气体排出，更换油雾过滤器)。氦检仪质谱室故障及处理：1、灯丝无法正常启动，在确认机械泵、分子泵处于正常工作状态后，若灯丝仍无法发射离子流，则需要更换离子源。若灯丝指示灯闪烁，检查离子源航空插座与接线柱是否开路，若开路，需要更换灯丝，若不开路，检查其接线柱与其他接头是否导通，消除短路现象。2、本底信号处于杂乱无章的波动状态且大小远远超过氦检仪故障自身的本底噪声，需要考虑放大器是否故障。质谱室出现故障一般用户无法解决，只需对故障进行定位，交由维修处理。喷氦法、吸氦法是氦检仪在电阻炉检漏中较常用的两种方法。
氦质谱检漏仪的注意事项：1.设备应在施工工作完成后进行本测试，测试完成后不得进行焊缝的修磨等。2.若设备被浸湿或有残余的液体都会影响毛细管的泄漏而影响测试结果的真实性。3.因氦比空气轻，因此要注意检漏的顺序，检查顺序应依照由下而上，由近而远的顺序进行。4.检漏过程中，如发现大量氦气进人质谱检漏仪，应立即移去吸口，防止因仪器长时间消除不掉氦影响而延误测试。氦质谱检漏仪应用领域：学校科研单位、真空制造、真空镀膜、航空航天、核工业、电力、电子元器件、汽车及制冷、低温容器、阀门、仪器仪表、聚酯等行业。氦检仪普遍应用于压力容器、航空航天、原子能、发电厂、制冷工业等领域。无锡客制化氦质谱检漏仪厂家推荐
氨质谱检漏仪在许多领域里得到普遍的应用。无锡全自动氦质谱检漏仪工作原理
氦检仪常用的几种检漏方法有：氦质谱检漏方法较多，根据被检工件的测量目的可分为两种类型，一种是漏点型，另一种是漏率型；在实际检验过程中，应根据检验目的选择较合理的方法，并根据被检件的具体情况灵活运用各种检漏方法。测定漏点型氦质谱检漏方法。确定漏点型既是确定要检部件的具体漏点或漏孔的位置,在大部件或大型部件中较为常见,如卫星、导弹弹体、弹头、输气管道、气罐、油罐、锅炉等。喷氦法氦质谱检漏方法。喷氦法又叫喷吹法，较常用、较方便的检漏方法。一般用于检测体积相对较小的部件,将被检器件和仪器连通,在抽好真空后,在被检器件可能存在漏孔的地方(如密封接头,焊缝等)用喷头喷氦。无锡全自动氦质谱检漏仪工作原理
