氦质谱检漏仪是由离子源、分析器、收集器、冷阴极离子仪等组成的质谱室、抽气系统及电气部分等组成。氦质谱检漏仪是一种用氦气作为示漏气体进行泄漏检测的特定仪器，具有性能稳定、灵敏度高等特点。在真空检漏技术中，采用的是通用型检漏仪器，具有较高的灵敏度。氦质谱检漏仪可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。此检测方法使用的示踪气体选择了氦气，氦气具有质量数小重量轻并且有渗透能力强的优点，达到了细检漏的目的。氦质谱检漏仪特点：1.检测时间和周期非常短，可以达到5s以内；2.检测的介质比较常用，只需压缩空气即可；3.不会受到主观因素判断的影响；4.检测的数据精确。氦质谱检漏仪由于其高的灵敏度、方法的多样性、对各种试件的适应性以及无破坏性，使其普遍应用。常州多功能氦质谱检漏仪使用方法
氦质谱检漏仪在真空度校验中的应用：氦是一种惰性气体，不会对设备产生腐蚀，不与真空器件起化学反应，无毒，也不会污染环境，因此使用起来也十分安全。对容器环境和质谱环境干扰较小，常作为泄漏气体使用。在接有检漏仪(即调整到只对氦气反应的工作状态的气体剖析仪)的被检容器上喷射该气体，如果容器有漏孔，分析仪就会发出响声，从而知道漏孔的位置和漏气量。氦质谱检测泄漏技术是真空检测领域中不可缺少的一项技术，由于其检测效率高、简便易行、仪器反应灵敏、准确度高、不受其它气体干扰等特点，在电阻炉检测泄漏中被普遍应用。常州多功能氦质谱检漏仪使用方法氦质谱检漏仪，顾名思义一般都会采用氦气作为主要的示漏气体。
氦质谱检漏仪（HeliumMassSpectrometerLeakDetector）为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到只对氦气反应的工作状态）的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。性能稳定可靠。不但灵敏度高，而且操作方便，能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。
氦质谱检漏仪虽然是因为选用氦气作为示漏气体而得名，但实际上涉及的示漏气体包括氦气、氢气等，主要的是氦气。而之所以选择氦气作为主要的示漏气体，原因主要有以下几点：1、氦气的质量轻，易于穿过漏孔，进入系统时流动和扩散快，因此响应快，检漏灵敏度高。2、氦离子质荷比小，因此可以减小磁分析器偏转半径的尺寸和选用较弱一点的磁场。同时一阶氦离子的质荷比与一阶氢离子、二阶碳离子相差较大，利于离子分离，可以适当降低对分析器制造精度的要求，使质谱室中氦离子通过的各个缝隙，从而提高氦离子的传输率。3、氦在空气中及残余气体中的含量少，在材料出气中氦气也很少，因此本底压力小，检漏时本底信号小。以上这些因素都为提高氦质谱检漏仪器的灵敏度创造了良好条件。另外，氦气作为一种惰性气体，性质不活泼，不与真空器件起化学反应，无毒，也不会污染环境，因此使用起来也十分安全。氦质谱检漏仪具有检测速度快、检测灵敏度高、抗干扰能力强等特点。
适当的维护您的氦质谱检漏仪是非常必要的，具体步骤如下：1、探头清洁：利用附送的防护罩防止灰尘、水汽、油脂阻塞探头，在使用本仪器前，均要检查探头和防护罩确无灰尘或油脂。2、拉下防护罩；3、用工业毛巾或压缩空气清洁防护罩；4、如果探头本身也脏，可浸入像酒精等温和清洗剂几秒钟，然后用压缩空气或工业毛巾清洁，严禁用像汽油、松节油、矿物油等溶剂，这样易降低仪器灵敏度。5、探头更换：探头较终总要失效，需更换。由于探头寿命直接和使用条件和频次相关，因此较难预计准确的更换时间。当在清洁、纯净空气中报警或不稳定时，应更换探头，具体探头步骤是如下：（1）确认本仪器处于关闭状态；（2）逆时针旋下旧探头；（3）顺时针旋上包装箱中提供的备用探头。氦质谱检漏仪虽然是因为选用氦气作为示漏气体而得名。常州多功能氦质谱检漏仪使用方法
氮质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器。常州多功能氦质谱检漏仪使用方法
氦质谱检漏仪对检漏方法的具体要求：1、检漏灵敏度高，可以检出很小的漏孔；2、反应时间短，可以提高工作效率；3、能定位、定量，不但能够找出漏孔的位置，还能知道漏率的大小，以便确定是否合乎质量要求；4、能无损检漏，不使被检设备受到损伤和污染；5、稳定性好，即可以在足够长时间内灵敏度稳定可靠；6、所用“示踪气体”在空气中含量低，无毒，不腐蚀零件；7、检漏范围大，从大漏孔到小漏孔都能检测到，以减少检漏设备的数量和费用；8、检漏时洁净无油，满足一些特殊的要求。氦质谱检漏仪是根据质谱仪学原理，用氦气作为搜索气体制成的气密性检测仪器。常州多功能氦质谱检漏仪使用方法
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