氦检仪的工作原理：氦检仪先在质谱室中将采集的被测气体电离，再利用电磁场将不同荷质比的离子加以分离检测,从中检测出事先安排的示踪氦离子，主要由三大组件构成:真空系统、质谱室和电子学控制单元。氦检仪内部配有一台旋片式真空泵,用以维持仪器内部的高真空。质谱室是氦检仪的重点部分，它包括离子源、聚焦、质量分析器和测量部分。质谱室入口连接在涡轮分子泵的前级真空部分，分子泵对不同的气体具有不同的压缩比特性，氦气的压缩比很小，可以逆着分子泵的抽气方向流动进入质谱室。在质谱室中氦气被电离，氦离子通过质量分析器的筛选到达收集极，产生一个正比于离子数量的电流信号，该信号经过放大和处理即为泄漏率。氦检仪整机由微机控制，菜单选择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。模块式氦检仪
氦检仪怎么选择适合的检漏方法？氦检仪的实际应用方案很多，常用的三种检漏方法有负压法（抽真空），正压法（吸入法）和背压法（压氦法），可以发现有不同的叫法，这是根据不同的检测方式命名的。采用什么方法要视被检件的结构、检漏的经济效益及检漏系统的性质来决定。根据不同的检漏目的，常用基础的有3种检漏方法。负压法（喷氦法）。对被检工件抽真空。可对被检工件外可疑漏点喷氦，也可将工件罩起来对氦罩内喷氦。可根据工件容积大小选配辅助泵或不加辅助泵。可检测工件的具体漏点和准确漏率。检测精度高。适用行业：镀膜行业，真空炉，真空配件，真空阀门，压力容器，真空系统等。模块式氦检仪由于氦质谱检漏仪仪为高精度精密仪器，其存放和使用环境要保持干净、卫生。
氦检仪常用的几种检漏方法：氦质谱检漏方法较多，根据被检工件的测量目的可分为两种类型，一种是漏点型，另一种是漏率型；在实际检验过程中，应根据检验目的选择较合理的方法，并根据被检件的具体情况灵活运用各种检漏方法。测定漏点型氦质谱检漏方法。确定漏点型既是确定要检部件的具体漏点或漏孔的位置,在大部件或大型部件中较为常见,如卫星、导弹弹体、弹头、输气管道、气罐、油罐、锅炉等。喷氦法氦质谱检漏方法。喷氦法又叫喷吹法，较常用、较方便的检漏方法。一般用于检测体积相对较小的部件,将被检器件和仪器连通,在抽好真空后,在被检器件可能存在漏孔的地方(如密封接头,焊缝等)用喷头喷氦。
氦检仪机械泵故障及处理：1、机械泵不动作，检查项目有：氦检仪电源电压是否正常，开关是否打开，绕组是否断路或接地，电机是否过热(泵冷却后是否能启动)。2、机械泵声音异常，检查油位是否合适，油质是否变坏，油温是否<10℃，油雾过滤器的出口有无气体排出(如果无气体排出，更换油雾过滤器)。氦检仪质谱室故障及处理：1、灯丝无法正常启动，在确认机械泵、分子泵处于正常工作状态后，若灯丝仍无法发射离子流，则需要更换离子源。若灯丝指示灯闪烁，检查离子源航空插座与接线柱是否开路，若开路，需要更换灯丝，若不开路，检查其接线柱与其他接头是否导通，消除短路现象。2、本底信号处于杂乱无章的波动状态且大小远远超过氦检仪故障自身的本底噪声，需要考虑放大器是否故障。质谱室出现故障一般用户无法解决，只需对故障进行定位，交由维修处理。为防止油污、粉尘和杂物进入氦质谱检漏仪，应在氦质谱检漏仪下方设置过滤器。
氦检仪本底漏率值是什么？本底值是指由所处环境所形成的较稳定的辐射水平或声量，由于氦气在空气中的体积含量约为5ppm，5.24×10-6，也就是百万分之五左右，这说明正常空气环境中氦气的含量很小，即氦本底很好。这也是用氦气作为示踪气体的重要原因之一。只有在空气中含量尽可能少的气体，才能满足检漏灵敏度方面的要求。在材料出气中也很少，因此本底压力小，输出的本底电流也小.正因为本底小，由某些原因引起本底的波动，亦即本底噪声也就小，因此微小漏率也就能反应出来。本底高一般都是泄漏的原因，建议检查阀有没有内漏，试试增加清扫气体的压力，但是也不能过高，因为会影响抽空效率。另外检漏时切勿将大量的氦气通进仪器，避免本底太大，难以清理。氦质谱检漏仪的检漏方式通常有两种，一种为常规检漏，另一种为逆扩散检漏。模块式氦检仪
氦检仪有漏率灵敏度参数，它是仪器在出厂时经过校准的在较佳条件下所能实现的仪器灵敏度。模块式氦检仪
氦质谱检漏仪的优点体现在以下几个方面：（1）便携式：很多小型便携式检漏仪不但灵敏度高，而且便于携带，给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。（2）高压强下检漏：检漏口压强可高达数百帕左右，对检测大系统和有大漏的工件很有益。（3）自动化程度高：自动校准氦峰，自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。整机由微机控制，菜单选择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。（4）全无油的干式检漏：有些国家生产的检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。模块式氦检仪
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