有点真空泵不能在大气压下工作 ,需要预真空;有的干式螺杆真空泵出口压力低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。经组合使用的真空泵,我们称之为真空泵机组,他能是真空系统得到较好的真空度及排气量。我们应正确地选择组合的真空泵,由于不同的真空泵对抽除的气体要求有不同的要求,例如:在一般情况下罗茨-旋片机组不适用于含有较多凝性气体的系统。无油涡旋真空泵选型。无油涡旋真空泵结构简单、具有较高的压缩比,在较宽的压力范围内有稳定的抽速,工作压力范围宽;动静涡旋盘之间间隙小、泄漏少,由于压缩腔容积的变化是连续的,因而驱动扭矩变化小,功率变化小,振动噪声低,可靠性高。这是其它类型的干式真空泵所不具备的。浚和(上海)仪器有限公司是一家专业提供干式真空泵的公司,欢迎新老客户来电!重庆自动运行干式真空泵联系方式
日本KASHIYAMASDE303TX干式真空泵技术参数&配置清单一、技术参数:式样:SDE303TXMAX排气速度(L/min):5000达到压力(Pa):0.5电源电压:3相AC200-220V,380-480V外型尺寸WHL[mm]:400×905×760二、配置清单:序号描述数量备注1SDE303TX主机一台1标配2电源线1标配3冷却水管路接头1标配4操作手柄1标配5产品合格证1标配6消音器(原厂件,选配)未包含7入口过滤器(选配,非原厂件)未包含设备原产地:日本日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(GasBallast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。重庆自动运行干式真空泵联系方式浚和(上海)仪器有限公司是一家专业提供干式真空泵的公司,有想法的可以来电咨询!
干式螺杆真空泵选型干式螺杆真空泵在其工作压力下,应能排走真空泵设备工艺过程中产生的全部气体量。每种泵都有一定的工作压力范围,因而,泵的工作点应该选择在这个范围之内,而不能让它在允许工作压力以外长时间工作。干式螺杆真空泵的极限压力应该满足该工艺的工作压力。通常选择泵的极限压力低于工艺要求约一个数量级。选择真空机组:了解被抽气体成分,气体中含不含 可凝蒸汽,有无颗粒灰尘、有无腐蚀性等。选择干式螺杆真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸汽、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。干式螺杆真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响,若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施。
干式真空泵的应用范围比较广,主要有以下几个方面:1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;4)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。5)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;浚和(上海)仪器有限公司致力于提供干式真空泵,有需求可以来电咨询!
干式螺杆真空泵的特点
干式螺杆真空泵干式螺杆泵是利用一对螺杆,在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备。两螺杆经精细动平衡校正,由轴承支撑,安装在泵壳中,螺杆与螺杆之间都有一定的间隙,因此泵工作时,相互之间无摩擦,无需润滑油。
干式螺杆泵的特点:噪音低,抽速大;不会发生腐蚀;能抽除含有大量水蒸气及少量粉尘的气体场合,极限真空更高,消耗功率更低,具有节能、免维修等特点。kashiyama干式螺杆泵还可将吸入的溶剂或气体中有用的成分在泵的出口直接回收,更大限度减少污染、提高回收效率。 浚和(上海)仪器有限公司为您提供干式真空泵,欢迎新老客户来电!重庆自动运行干式真空泵联系方式
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日本KASHIYAMAMU100P/H干式真空泵技术参数&配置清单一、技术参数:式样:MU100P/HMAX排气速度(L/min):1660达到压力(Pa):3.0电源电压:3相AC200-220V消费电力(KW):0.7KW外型尺寸WHL[mm]:350×360×630质量【kg】:70kg二、配置清单:序号描 述数量备注1MU100P/H主机一台,电压AC三相200V1标配2电源线1标配3冷却水管路接头1标配4操作手柄1标配5产品合格证1标配6消音器(原厂件,选配)未包含7入口过滤器(选配,非原厂件)未包含设备原产地:日本重庆自动运行干式真空泵联系方式
日本KASHIYAMAMU600X干式真空泵技术参数&配置清单一、技术参数:式样:MU600XMAX排气速度(L/min):10000达到压力(Pa):0.5电源电压:3相AC200-220V消费电力(KW):0.6KW外型尺寸WHL[mm]:230×520×530质量【kg】:120kg二、配置清单:序号描述数量备注1MU600X主机一台,电压AC三相200V1标配2电源线1标配3冷却水管路接头1标配4操作手柄1标配5产品合格证1标配6消音器(原厂件,选配)未包含7入口过滤器(选配,非原厂件)未包含设备原产地:日本浚和(上海)仪器有限公司致力于提供干式真空泵,期待您的光临!海南立式干式真空泵...