氦质谱检漏仪是磁偏转型的质谱分析计。单级磁偏转型仪器灵敏度为lO-9~10-12Pam3/s,普遍地用于各种真空系统及零部件的检漏。双级串联磁偏转型仪器与单级磁偏转型仪器相比较,本底噪声明显减小.其灵敏度可达10-14~10-15Pam3/s,适用于超高真空系统、零部件及元器件的检漏。逆流氦质谱检漏仪改变了常规型仪器的结构布局,被检件置于检漏仪主抽泵的前级部位,因此具有可在高压力下检漏、不用液氮及质谱室污染小等特点,适用于大漏率、真空卫生较差的真空系统的检漏,其灵敏度可达10-12Pam3/s。氦质谱检漏仪捡漏方法以其高灵敏度和准确性而通常应用于整体防漏等级较高的压力容器上。嘉兴智能氦质谱检漏仪多少钱
氦质谱检漏仪有哪些结构?电气系统,氦质谱仪电气部分的重点是质谱室的供电和测量,其他部分包括真空系统的电源与控制部分,操纵面板及输出仪表等。主要含有小电流放大器及输出装置、低频发生器、高压整流器及发射电流稳定装置、高压整流器供给冷阴极磁控规电源。质谱室,形象的说,质谱室是氦质谱检漏仪的心脏,由离子源、分析器和电气系统三个部分组成,并将冷阴极磁控规也放在其内,共用其磁场。为了有利于微小的粒子流放大,将一级放大用高阻及静电计管也放在质谱室之内。质谱室壳由非磁性材料制成,内部抽空,而外部设置成磁铁形成磁分析器的磁场。金华便携式氦质谱检漏仪售后服务氦质谱检漏仪可以双灯丝自动切换、自动调零、自动校准等。
氦质谱检漏方法 ( 以下简称氦检)以其高灵敏度和准确性而通常应用于整体防漏等级较高的压力容器上。 氦检方法基本上可分为用氦气内部加压法和 设备内部抽真空外部施氦这两种,由于后者需将 设备完全抽成真空状态, 往往会增加测试用设备( 如高、低压真空泵、真空阀等)和设备工装 ( 如 外压加强圈)而使造价提高,所以该方法通常用于容积小而厚壁的设备;对于大多数压力容器而言,通常优先选用前一种方法。于氦检是通过氦穿过漏孔来检漏的,所以焊缝表面若存有油污、 焊渣以及设备内部的积水、污垢等都会使泄漏孔暂时阻塞而影响检测结果,因此,测试前必须设备内部清理干净及焊缝表面并用热风装置将设备内部干燥。
氦质谱检漏仪进展集中体现如下方面:1.智能化:以往的氦质谱检漏仪操作非常辅助,而现在的触屏式,自动检测。2.便捷化:这几年市场上各种小型便捷的检漏仪能够为行业提供小巧而灵敏性高的设备。3.自动化程度高:自动校准氦峰,自动调节零点,量程自动转换,自动数据处理,可外接打印机。整机由微机控制,菜单选择功能,一个按钮即可完成一次的全检漏过程。4.全无油的干式检漏:有些国家生产的检漏仪,可采用干式泵,达到无油蒸气的效果,为无油系统及芯片等半导体器件的检漏,提供了有利条件。5.检漏范围宽:现今生产的四极检漏仪,质量范围很宽,不只可检测氦气,而且能检测其它气体。使用氦质谱检漏仪要注意哪些问题?
氦质谱检漏仪的优点集中在以下几个方面:(1)便携性:许多小型便携式检漏仪不只灵敏度高,而且便于携带,为野外作业和高空作业提供了极大的便利。(2)高压强下检漏:检漏口的压力可高达数百帕,对于检测大系统和泄漏工件非常有用。(3)高度自动化:氦峰自动标定,零点自动调整,量程自动转换,数据自动处理,可外接打印机。全机由微电脑控制,具有选菜功能,一键完成全检漏过程。(4)完全无油的干式检漏:一些国家生产的检漏仪可以采用干式泵,达到无油蒸汽的效果,为无油系统、晶片等半导体器件的检漏提供了有利条件。为适应检漏口压力的变化和对灵敏度的不同要求,分子泵一般采用多段结构,多速。如果改变分子泵的转速,可以达到这个目的,提高检漏灵敏度。此外,反扩散检漏方法实现了高压强下检漏,也为正压吸口检漏提供了良好的条件。氦质谱检漏仪的性能、特性好坏取决于质谱分析室。嘉兴智能氦质谱检漏仪多少钱
氦质谱检漏仪运用了氦质谱和逆扩散原理,采用了原装进口分子泵、180°非均匀磁场和全自动控制技术。嘉兴智能氦质谱检漏仪多少钱
氦质谱仪检漏仪通常用于电子组件的背压检测。在进行泄漏检测之前,用专门使用的加压容器将氦气加压到试件中(压力的大小由压力和时间控制),然后取出试件,吹走表面以吸收氦气,然后将其放置在专门使用的专门使用容器中。检漏罐。泄漏检测箱连接到泄漏检测器的泄漏检测端口,并排空泄漏检测箱以执行泄漏检测。如果设备中存在泄漏,则被泄漏压过的氦会释放到泄漏检测罐中到达质谱仪管。用这种方法测得的泄漏率也是总泄漏率。将测试件连接到仪器的泄漏检测端口以排空,并用装满氦气的容器覆盖测试件。如果测试件有泄漏,氦气会通过泄漏进入测试件,后到达质谱仪管。检测。测得的泄漏率是被测零件的总泄漏率。无法确定有多少泄漏以及每个泄漏的确切位置。可以看出,钟罩法是基于喷雾法的检漏法。嘉兴智能氦质谱检漏仪多少钱
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