无损氦检仪单位

氦质谱检漏仪的灵敏度，通常指仪器的可检漏率。氦质谱检漏仪主要技术指标：1.可检漏率：5×10-12Pa·m3/s；2.漏率显示范围：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s；3.启动时间：≤5min；4.响应时间：≤1s；5.检漏口的压力：1500Pa；6.电源要求：220v，50Hz，单相，10A；7.工作环境：5-35℃；8.相对湿度：≤80%；9.外形尺寸：550（w）×400（D）×780（H）；10.重量：64kg。使用环境：环境温度：5～35℃；相对湿度：<80%；供电电压：单相交流220V±10%，50Hz工作电流：10A。氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术。无损氦检仪单位

氦质谱检漏仪在使用过程中需特别注意以下几点：①使用的电源电压要在额定的电压范围之内，电压过低仪器启动困难，且性能不稳定，电压过高会烧坏电源，严重时还会烧毁母板的电路板和分子泵，应连接稳压电源(UPS)。②仪器在运行过程中不能移动。涡轮分子泵处于高速运转中，若搬动检漏仪，容易使分子泵内的叶片与转子的筒体相碰撞。③氦质谱检漏仪应按照说明书的要求定期进行保养，保养的项目有更换机械泵油、更换过滤网、更换过滤器。灵敏度、反应时间、消除时间、工作真空度、极限真空度及仪器入口处抽速是评价氦质谱检漏仪的主要性能指标。智能氦气检测仪品牌氦检仪同时拥有两种检漏模式，真空模式及正压模式，可根据客户不同需求，选择不同的检漏方法。

氦检仪机械泵故障及处理：1、机械泵不动作，检查项目有：氦检仪电源电压是否正常，开关是否打开，绕组是否断路或接地，电机是否过热(泵冷却后是否能启动)。2、机械泵声音异常，检查油位是否合适，油质是否变坏，油温是否<10℃，油雾过滤器的出口有无气体排出(如果无气体排出，更换油雾过滤器)。氦检仪质谱室故障及处理：1、灯丝无法正常启动，在确认机械泵、分子泵处于正常工作状态后，若灯丝仍无法发射离子流，则需要更换离子源。若灯丝指示灯闪烁，检查离子源航空插座与接线柱是否开路，若开路，需要更换灯丝，若不开路，检查其接线柱与其他接头是否导通，消除短路现象。2、本底信号处于杂乱无章的波动状态且大小远远超过氦检仪故障自身的本底噪声，需要考虑放大器是否故障。质谱室出现故障一般用户无法解决，只需对故障进行定位，交由维修处理。

氦检仪的捡漏方法有哪些？背压法（压氦法）真空模式。工件先在压氦罐中打入高压氦气，迫使氦气进入泄漏工件，再放入检漏罐中检测是否有氦气漏出。可根据工件大小定制罐体大小。可检测工件的整体漏点。检测精度较高。适用行业：电子元器件，电子封装等。氦质谱检漏背压法优点：检测灵敏度高；可以进行批量化检测；一般小型电子器件宜采用这种检漏方法。首先将仪器调整好，再将器件放入加压罐内压入氦气，氦气进入有漏孔的器件内部，无漏孔的器件只是表面吸咐氦气。器件加压压力和时间根据GB2423，2328文件而定，器件从加压罐中取出后将表面吸咐的氦气吹掉再放入检漏夹具中抽空，待真空抽至设定值后自动将夹具连至仪器的测量系统。这时压入存在漏孔器件内部的氦气泄漏出来被检测，其漏率在漏率表上显示出来。一般压氦法检漏时采用排除法。在夹具中放一定数量的器件，这一批的总漏率没超过报废预定值，说明这一批合格；总漏率超过报废预定值可以取出一半，剩下的一半继续检漏，这一半合格说明有漏的器件在取出的那一半中，依此检漏直至检出有漏孔的器件。氦质谱检漏仪被普遍应用于压力容器、航空航天、原子能、发电厂、制冷工业等领域。

氦质谱检漏仪操作步骤：1、将总电源转到“前级泵”，低真空表头指示值应从左向右逐渐上升至2~15Pa，开抽速阀，开漏孔开关，表头示值也应能抽到原来位置，再关抽速阀。2、将总电源转到“扩散泵”，灯亮，扩散泵开始加热。3、等20分钟左右，扩散泵排气管应热，开冷规开关，“质谱室压强”表头指针应从左打向右(即冷规已激发)再关冷规。4、开抽速阀，过几分钟后开冷规，表头指针应从左打向右，再从右向左逐渐上升(真空示值在1×10-2Pa以下请不要长时间开冷规，可等一会儿再开)，当真空示值超过1×10-2Pa后，可启动灯丝，灯亮，“发射电流”有指示，开、关漏孔检查氦质谱检漏仪灵敏度(可调加速电压使信号指示Zda)，灵敏度达要求后关漏孔。氦检仪为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。智能氦气检测仪品牌

氦质谱检漏仪是根据被检工件的不同它所使用的检漏方法也是不同的。无损氦检仪单位

氦检仪灵敏度高、操作便捷、低维护，使您放心得到准确可靠的测试结果。产品普遍应用于科研院所、航空航天、动力锂电池，阀门、精密仪表、机械加工、电力、半导体、光伏、真空镀膜、真空热处理等。氦检仪关键部件均为进口，性能稳定可靠。不只灵敏度高，而且操作方便，能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。氦检仪是对比性测试仪器，其工作原理是对进入质谱室的氦气分子电离，轰击靶心产生电离，并放大，通过电流大小的判断氦气分子的多少！进入质谱室氦气分子的比例（分流比），还有电气参数的不同，电流相同，漏率可能不同；或漏率不同，电流相同；所有氦检仪本身并不知道放大后的电流对应的漏率是多少，需要参照物，这个参照物就是标准漏孔。无损氦检仪单位

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