南京氦检设备

氦质谱检漏仪性能试验方法：1、反应时间、消除时间及其测定，反应时间是指仪器节流阀完全开启，本底讯号为零(或补偿到零)时，由恒定的氦流量使输仪表讯号上升到值的(1-e-1)倍(即O.63)所需要的时间，记为τR。消除时间是指输出仪表讯号稳定到固定值后，停止送氦，其讯号下降到值的e-1倍(即O.37)所需要的时间，记为τC。2、工作真空、极限真空及入口处抽速，质谱室极限真空，尤其是工作真空及入口处抽速是表征仪器性能的重要参数。利用氦质谱检漏仪的真空规可以测定仪器的极限真空和工作真空。利用流量计可测定仪器入口处抽速。氦质谱检漏仪的检漏方式通常有两种，一种为常规检漏，另一种为逆扩散检漏。南京氦检设备

氦检仪怎么选，这取决于客户的需求：应用类型：(例如：生产，维护等)-干式/传统的油泵?性能：(进入检漏模式所需要的时间，灵敏度，响应时间，恢复时间，初抽的能力)。重量以及大小。氦氦检仪的性能衡量，主要是通过以下参数：初抽的能力：(m3/h)，检测允许的较大进气口压力：(mbar)，进入检测模式所需要的时间：(s)，氦抽速：(l/s))灵敏度，较低可测的氦信号：(mbar.l/s)，响应时间：(s)，恢复时间：(s)，初抽能力：将决定进入检测模式的时间)将决定是否只使用氦检仪进行检测就可以(是否需要辅助泵)。检测允许的较大进气口压力：〉将决定进入检测模式所需要的时间。进入检测模式所需要的时间：是由初抽能力和检测允许的较大压力共同决定的。其他可能会影响检测时间的参数：腔体的脱气以及非常大的泄漏。南京氦检设备氦质谱检漏仪是质谱仪器中的一种。

氦质谱检漏仪用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪(调整到只对氦气反应的工作状态)的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。氦质谱检漏仪可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。此检测方法使用的示踪气体选择了氦气，氦气具有质量数小重量轻并且有渗透能力强的优点，达到了细检漏的目的。

氦质谱检漏仪应用让我国许多设备的运转情况得到了更好的监控，特别是在一些真空设备的质量检验之中，应用氦质谱检漏仪已经成为了一种常见的事项。氦质谱检漏仪自身的能力和使用情况的直接影响到了设备的检测准度，所以选择合适的氦质谱检漏仪很重要。氦质谱检漏仪的选择：1、如果被检对对象不固定，体积时大时小，灵敏度要求时高时低时，就要选择功能较全、灵敏度较高、检漏范围宽的检漏仪。2、如果检漏地点不固定，需要经常搬运氦质谱检漏仪时，就要选择小型便携式仪器。3、在满足上述检漏基本要求的基础上，还要综合考虑氦质谱检漏仪的价格是否低、操作是否简易、维修是否方便等方面的问题。氦检仪为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。

在使用氦检仪时要如何保养？①如果仪器不是每天都使用，建议每周启动并检查一次，以保持仪器的高真空系统处于真空状态，在后期使用过程中可以缩短仪器的启动时间。②仪器部件（如离子源）拆卸后，安装过程中应避免在安装现场发生泄漏，仪器可用于泄漏检测。③及时对泄漏处（如放气阀等）进行自检。）可能出现在仪器上，并在发现泄漏点后及时移除、清洁或紧固，以免在泄漏检测过程中干扰泄漏检测。④氦检仪维护定期维护油泵。（散热口粉尘处理及泵油的检查和更换）⑤严禁在氦检仪上，尤其是进气口处掉落或喷洒任何异物。由于氦检仪是一种高精度仪器，其储存和使用环境应保持清洁卫生。只有经过培训或合格的设备维护工程师才能使用该仪器。⑥使用时，请注意仪器的操作。一旦出现大振动、高噪音等状况时，仪器在操作过程中不能移动。涡轮分子泵正在高速运转。如果泄漏检测器移动，涡轮分子泵中的叶片将很容易与转子的圆筒碰撞。立即切断电源并排除故障，否则会对氦检仪造成不良影响。氦质谱检漏仪的保养项目有更换机械泵油、更换过滤网、更换过滤器。南京氦检设备

氦质谱检漏仪是根据被检工件的不同它所使用的检漏方法也是不同的。南京氦检设备

氦质谱检漏仪调氦峰步骤：1、调氦峰方法：开漏孔开关，单方向(从75~165V或从165~75V)调加速电压“V”，使氦质谱检漏仪放大器输出表指示值出现一个Zda值，然后关漏孔开关，如表头指示值变小，说明氦质谱检漏仪接收到氦信号，即找到氦峰；如表头指示值不变，说明不是氦峰，则继续调“V”，直到找到氦峰(出现氦的“V”一般在85~150V之间)。2、调氦峰分辨不好：①氦和重离子分辨差。②氦和轻离子分辨差。3、调氦峰信号小：①灯丝没正对电离盒上的电子入口。②灯丝离电离盒太远。③分辨不好。南京氦检设备

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