从激光器发出的光束,经扩束准直后由分光镜分为两路,并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而产生干涉条纹。当可动反射镜移动时,干涉条纹的光强变化由接受器中的光电转换元件和电子线路等转换为电脉冲信号,经整形、放大后输入可逆计数器计算出总脉冲数,再由电子计算机按计算式[356-11]式中λ为激光波长(N为电脉冲总数),算出可动反射镜的位移量L。使用单频激光干涉仪时,要求周围大气处于稳定状态,各种空气湍流都会引起直流电平变化而影响测量结果。皮米精度位移传感器。高精度激光干涉仪金线检测
利用不同构形的弹性敏感元件可测量各种物体的应力、应变、压力、扭矩、加速度等机械量。半导体应变片与电阻应变片(见电阻应变片相比,具有灵敏系数高(约高 50~100倍)、机械滞后小、体积小、耗电少等优点。P型和N型硅的灵敏系数符号相反,适于接成电桥的相邻两臂测量同一应力。早期的半导体应变片采用机械加工、化学腐蚀等方法制成,称为体型半导体应变片。它的缺点是电阻和灵敏系数的温度系数大、非线性大和分散性大等。这曾限制了它的应用和发展。自70年代以来,随着半导体集成电路工艺的迅速发展,相继出现扩散型、外延型和薄膜型半导体应变片,上述缺点得到一定克服。半导体应变片主要应用于飞机、导弹、车辆、船舶、机床、桥梁等各种设备的机械量测量。天津激光干涉仪色散共焦在环境条件下悬臂的共振频率,不施加压电致动器的任何振荡!
激光干涉仪系统可同步测量大型龙门移动式数控机床:双轴定位精度的检测及其自动补偿雷尼绍双激光干涉仪系统可同步测量大型龙门移动式数控机床,由双伺服驱动某一轴向运动的定位精度,而且还能通过RS232接口,自动对两轴线性误差分别进行补偿。数控机床动态性能检测利用RENISHAW动态特性测量与评估软件,可用激光干涉仪进行机床振动测试与分析(FFT),滚珠丝杠的动态特性分析,伺服驱动系统的响应特性分析,导轨的动态特性(低速爬行)分析等。
5指针不应弯曲,与标度盘表面间的距离要适当。对装有反射镜式读数装置的仪表应不大于(0.02L+1)MM;其余仪表应不大于(0.01L+1)MM。指针与标度尺在同一水平面上的仪表,其指针前列与标度尺边缘的间隙应不超过(0.01L+0.8)MM。其中L是标度尺长度,MM。刀形和丝形指针的前列至少应盖住标度尺上较短分度线的1/2,矛形指针可为1/2~3/4;
6检查有无封印,外壳密封是否良好。三相仪表应在对称电压和平衡负载的条件下检验。三相系统中每一个线电压或相电压以及电流与系统中相应量的平均值之差均不应大于1%。各个相电流与对应相电压的相位差之间的差值不大于2°。 用AquadB数据输出测量。
数控转台分度精度的检测:数控转台分度精度的检测及其自动补偿现在,利用ML10激光干涉仪加上RX10转台基准还能进行回转轴的自动测量。它可对任意角度位置,以任意角度间隔进行全自动测量,其精度达±1。新的国际标准已推荐使用该项新技术。它比传统用自准直仪和多面体的方法不仅节约了大量的测量时间,而且还得到完整的回转轴精度曲线,知晓其精度的每一细节,并给出按相关标准处理的统计结果。知晓其精度的每一细节,并给出按相关标准处理的统计结果。 易于集成(只Ø1.2mm,重量只几克)!浙江激光干涉仪外形尺寸测量
对每个样品旋转,只要安装了反射器和传感器且对齐良好,就可使用多探头误差分离技术处理原始干涉测量数据。高精度激光干涉仪金线检测
升降变差1能耐受机械力作用的仪表、仪表正面部分比较大尺寸小于75MM的可携式仪表、正面比较大尺寸小于40MM的安装式仪表、用直流进行检验的电磁系和铁磁电动系仪表,其指示值的升降变差不应超过表7规定值的1.5倍。其它仪表的升降变差不应超过表的规定。2测定升降变差时,应在极性不变(当用直流检验时)和指示器升降方向不变的前提下,首先使被检表指示器从一个方向平稳地移向标度尺某一个分度线,读取标准表的读数;然后再从另一个方向平稳地移向标度尺的同一个分度线,再次读取标准表的读数,标准表两次读数之差即为升降变差。允许根据被检表读数之差测定升降变差,这时应维持被测量之值不变。测定仪表升降变差时应遵守规定,若被测之量连续可调,可与测定基本误差一同进行。高精度激光干涉仪金线检测