氦质谱检漏仪的使用方法：1、氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏效率高，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在电阻炉检漏中得到了普遍应用。2、是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。3、质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进人室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进人磁场。4、由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。喷氦法、吸氦法是在电阻炉检漏中常用的两种方法。使用氦质谱检漏仪要注意哪些问题？宁波推车式氦质谱检漏仪特点
氦质谱检漏仪的应用范围：在一般工业领域里原子能、发电厂、配电站、合成氨的氮肥生产厂、汽车制造业、造船工业、制冷工业、冶金工业、输气管道、气罐、油罐、锅炉快餐食品包装等都离不开检漏问题。氦质谱检漏仪的功能特点：1、支持正压检漏，负压检漏。2、自动跟踪本底，提供快速可靠的测量结果。3、优化设计的质谱系统和智能算法确保在所有量程快速响应。4、高可靠性的真空系统和质谱系统确保快速清氦。5、支持氮气破空，不受环境氦气干扰，快速降低本底。6、机器的性能支持长时间在线测试。7、机器的性能支持几秒一次的高频率测试。宁波推车式氦质谱检漏仪特点氦质谱检漏仪是对比性测试仪器。
氦质谱检漏仪的选择：首先要考虑到灵敏度必需充分满足要求，选择氦质谱检漏仪时。但也不是越高越好。便携式检漏仪适于检小件，灵敏度也较高，移动方便。由于本机真空系统很小，抽气能力有限，所以检大容器时就不得不靠较大辅助真空系统抽气，由于气体分流、灵敏度将降低。检大容器时，一般选逆扩散型检漏仪，因被检件接在分子泵钱级与机械泵连接管道上，要求真空度不高，而顺检型检漏仪被检件接在质谱室上，要求真空度高，否则仪器不能工作，所以抽气时间要长。如果在流水线上测振仪可选用特定检漏仪或作简单工装使用。若平时被检件什么样的都可能有，可以选用基本型氦质谱检漏仪，以降低成本。
氦质谱检漏仪的检漏方式：1、钟罩法——测总漏率，将被检件与仪器检漏口联接抽真空，在被检件外面罩以充满氦气的容器，如被检件有漏孔，氦气便由漏孔进入被检件，达到质谱管被检测。所测漏率是被检件的总漏率，不能确定有几个泄漏点和每个漏点的准确位置。可以看出钟罩法是基于喷吹法的一种检漏方法。2、背压法——测总漏率，进行电子元器件气密性检测时常用背压法。检漏前用特定加压容器向被检件压入氦气(由压力和时间控制压入的量)，然后取出被检件，吹去表面吸附氦后放入特定检漏罐中，再将检漏罐联接到检漏仪的检漏口上，对检漏罐抽真空，实施检漏。若器件有漏，则通过该漏孔压人的氦气又释放出来进入检漏罐，到达质谱管。用这种方法测得的漏率也是总漏率。氦质谱检漏仪通过质谱室的重点供电和测量，成为供电的重点部分。
氦质谱检漏仪真空系统：氦质谱检漏仪的真空系统部分由分子泵、前级机械泵组成。在常规检测时通常由前级机械泵对被检件预抽真空，当真空度达到一定压力后，再进入真空系统部分；被检件在检测前会被要求进行清洁前处理，以防止粉尘、颗粒物等污染物进入真空系统；否则将直接污染真空系统，甚至造成真空泵损坏；所以被检件的清洁前处理及对设备自身定期的保养清理尤为重要。设备自身保养小知识：（1）前级真空泵的定期换油及深度保养；（2）电磁阀组的超声清洗；（3）质谱模块组件的超声清洗以及分子泵的定期保养维护。氮质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器。宁波推车式氦质谱检漏仪特点
氦质谱检漏仪由于其高的灵敏度、方法的多样性、对各种试件的适应性以及无破坏性，使其普遍应用。宁波推车式氦质谱检漏仪特点
氦质谱检漏仪是一种用氦气作为示漏气体进行泄漏检测的专门使用仪器，具有性能稳定、灵敏度高等特点。在真空检漏技术中，采用的是通用型检漏仪器，具有较高的灵敏度。氦质谱检漏仪是磁偏转式质谱分析仪。是一种灵敏度较高的仪器，普遍应用于检测各种真空系统和零件的漏电，具有很好的实用价值。双层串联磁偏变装置与单层磁偏变装置相比，背景噪声明显降低，适用于超真空系统、元件和部件的检漏。逆电流式氦质谱检漏仪改变了常规型仪器的结构布局，将检件放置在检漏仪主抽泵的前级部位，因而具有在高压条件下能检漏，不会造成液氮污染和质谱室污染等特点.适用于对大漏率、真空环境卫生较差的真空系统的检漏。宁波推车式氦质谱检漏仪特点
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