随着我国经济的快速发展和相关工业的进一步发展,高真空度真空腔体业企业生存和发展的外部环境发生了巨大变化,遇到了良好的发展机遇。现今半导体产业、光电面板产业、太阳能产业的设备中,几乎都设有腔体装置。而这些设备藉由腔体装置的气密空间来提供一个干燥且除气的作业空间,而避免作业过程中气泡及水分的污染,故腔体装置的气密程度即为设备性能好坏的关键因素。因此各大企业相对于过去都提高了相关设备要求,高真空度真空腔体产业不断壮大,国内对高真空度真空腔体需求与日俱增,市场前景非常广阔。随着真空腔体容积的增加,传热光靠夹套已很不够,常常要在反应器内设置附加传热挡板。石家庄真空烘箱腔体设计
真空腔体是保持内部为真空状态的容器,真空腔体的制作要考虑容积、材质和形状。不锈钢是目前超高真空系统的主要结构材料。其中300系列不锈钢(表1)是含Cr10%——20%的低碳钢,具有优良的抗腐蚀性、放气率低、无磁性、焊接性好、导电率和导热率低、能够在-270——900℃工作等优点,在高真空和超高真空系统中,应用普遍。近年来,为了降低真空腔体的制作成本,采用铸造铝合金来制作腔体也逐渐普及。另外,采用钛合金来制作特殊用途真空腔体的例子也不少。为了减小腔体内壁的表面积,通常用喷砂或电解抛光的方式来获得平坦的表面。超高真空系统的腔体,更多的是利用电解抛光来进行表面处理。焊接是真空腔体制作中非常重要的环节之一。为避免大气中熔化的金属和氧气发生化学反应从而影响焊接质量,通常采用氩弧焊来完成焊接。氩弧焊是指在焊接过程中向钨电极周围喷射保护气体氩气,以防止熔化后的高温金属发生氧化反应。超高真空腔体的氩弧焊接,原则上必须采用内焊,即焊接面是在真空一侧,以免存在死角而发生虚漏。杭州真空烘箱腔体定制多边形镀膜机腔体主要应用于各种工业涂装系统,其功能是在大范围的基板上沈淀出一层功能性和装饰性薄膜。
真空腔体的加热模式:从加热模式上来,用户也能够按照自身的要求来选用不一样的加热模式,那么真空腔体的加热模式都有哪些呢?1、蒸汽加热模式。有的用户由于生产加工物料的特性,或用户生产加工现场有现成的蒸汽时,可选用蒸汽作为设备的加热模式。蒸汽加热模式也能够借助智能化温度控制系统对物料加热温度进行调节操作。2、电加热模式。在许多工业生产,电加热模式相对受欢迎,是真空腔体内置的功能模块,由温度传感器加热介质层和隔热保温层所构成的温度控制系统,能够简单便捷的调节温度,不需要另外硬件配置加热设备,可大幅度减少加热成本。在介质层加热时,可按照不一样的物料加工温度选用不一样的介质,常见的有水、导热油等。上述即为真空腔体常见的2种加热模式,可根据实际情况来选择合适的加热模式。
真空腔体釜体、釜盖的安装及密封:釜体和釜盖采用垫片或锥面与圆弧面的线接触,通过拧紧主螺母使它们相互压紧,达到良好的密封效果。拧紧螺母时,须对角对称,多次逐步加力拧紧,用力均匀,不允许釜盖向一边倾斜,以达到良好的密封效果。在拧紧主螺母时,不得大于规定的拧紧力矩40~120N.M范围,以免密封面挤坏或过负荷磨损。对密封面应加以爱护,每次安装之前用比较柔软的纸或布将上下密封面擦拭干净,注意不要将釜体、釜盖密封面碰出痕迹。若合理操作,可使用上万次以上。密封面破坏后,需重新加工维修可达到良好的密封性能。拆卸真空腔体釜盖时应将釜盖上下缓慢抬起,避免釜体与釜盖之间的密封面相互碰撞。如果密封是采用垫片(四氟、铝垫、铜垫、石棉垫等)密封,通过拧紧主螺母便能达到良好的密封效果。阀门、压力表的安装通过拧紧正反螺母,即达到密封的效果,联接两头的圆弧密封面不得相对旋转,对螺丝联接件在装配时,均须涂抹润滑剂或油料调和的石墨。阀门的使用:针形阀系线密封,需轻轻转动阀针,压紧密封面即能达到良好的密封性能,禁止用力过大,以免损坏密封面。真空是指低于大气压力的气体的给定空间,真空是相对于大气压来说的,并非空间没有物质存在。
真空腔使用注意事项:1、真空腔外壳必须有效接地,以确保使用安全。2、真空腔不需连续抽气使用时,应先关闭真空阀,再关闭真空泵电源,否则真空泵油要倒灌至腔内。3、取出被处理物品撕,如处理的是易燃物品,必须待温度冷却到低于燃点后,才能放入空气,以免发生氧化反应引起燃烧。4、真空腔无防爆装置,不得放入易爆物品干燥。5、真空腔与真空泵之间建议跨过滤器,以防止潮湿体进入真空泵。6、非必要时,请勿随意拆开边门,以免损坏电器系统。7、本设备应装适用空气开关。8、电气绝缘完好,设备外壳必须有可靠的保护接地或保护接零。真空系统包括真空泵、循环水箱、缓冲罐、单向阀等组成,是一个连锁系统,配合使用。厦门真空腔体连续线厂家供应
真空腔体每次使用后要及时将其清洗干净,以免锈蚀。石家庄真空烘箱腔体设计
在科技飞速发展的现在,很多科学仪器与设备都需要在一定的真空环境下工作,真空腔体为敏感的元器件提供真空环境,保证其正常工作,因此,真空腔体的设计成为了整个真空系统设计非常重要的部分。
现有的高真空度真空腔体设计形状多种多样,材料以不锈钢、铝合金、钛合金为主。铝合金重量轻、加工成本低,但由于其质地较软无法使用刀口密封方式,只能使用橡胶圈密封的方式;铝合金材质的真空腔体优点是拆装方便,不足之处是只能使用橡胶圈密封,密封方式单一,铝合金材质和橡胶圈都有很大的放气率,温度适应性差,无法使用熔融焊工艺,因此适用范围窄。钛合金重量轻但加工成本高,焊接难度大、焊接方式受限,无法用于方形真空腔体加工。不锈钢材料出气率低、机械性能好,并且熔融焊接性能好,加工成本低,在高真空度真空腔体设计中被普遍应用。 石家庄真空烘箱腔体设计