恢复出厂状态:当不清楚产品的设定状态时,可以恢复出厂设置;1.输出模式的设定:长按S键进入功能选择模式,再按上下键将真空发生器设定为OUT1的输出口,即显示F1,再按S键进入输出模式的设定,如图:2.输出反转的设定:当真空发生器显示HYS时,按S键进入输出反转的设定,如图:3.负压值的设定,如图:(1)选择反转输出模式:P_1变为n_1注意点:(1)需要在反转输出模式下(n_1)设定真空负压值,出厂设置一般设定为-50,实际生产设定值根据现场情况设定。4.迟滞模式设定:负压值设定完成后,按下S键进入迟滞模式的设定,如图:5.设定完成以后,持续按下S键3秒以上,保存设定值并进入测量模式。第一步:第二步:(按上下键)第三部:(按S键)第四部:(按S键)第五步:按S键进入n_1,按上下键设定真空负压值第六步:按S键进入H_1。欣诺真空发生器广泛应用于包装、印刷、汽车、电子、食品、饮料、医药、机器人等行业。汕头国产真空发生器
伯努利机械手在真空卡盘上放取晶圆的系统和方法本**技术涉及半导体晶圆加工领域,特别是指一种伯努利机械手在真空卡盘上放取晶圆的系统和方法。技术介绍晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片,是制造半导体芯片的基本材料,由于其形状为圆形,故称为晶圆。伯努利原理可以形象的表述为:在水流或气流里,如果速度小,压强就大,如果速度大,压强就小。伯努利机械手(吸盘)就是利用了伯努利原理的机械手,机械手的喷气口中喷出的气体(例如氮气等惰性气体)遇到圆盘的表面(例如上表面,当然也可以是下表面,以上表面为例陈述是示例性的)后,气体自圆盘上表面迅速扩散,使得圆盘上表面的气流速度大于下表面的气流速度,根据伯努利原理可知,此时圆盘下表面的气压大于圆盘上表面的气压,因而使圆盘被吸附在伯努利机械手上。在晶圆加工过程中,伯努利机械手通过伯努利原理吸附晶圆,把晶圆放在具有真空吸附功能的真空卡盘上后,机械手放开晶圆。同时真空卡盘通过多孔真空吸附把晶圆吸附到真空卡盘上。工艺结束后真空卡盘停止真空吸附,伯努利机械手吸附晶圆,把晶圆从真空卡盘上取下,并带出工艺腔室。长沙SMC真空发生器真空发生器ZL112采用3级扩散段构造,吸入流量增加,可选择数字式真空开关、真空压力计等功能.
真空发生器在满足使用要求的前提下应减小其耗气量(L/min),耗气量与压缩空气的供给压力有关,压力越大,则真空发生器的耗气量越大。因此在确定吸入口处压力值的大小时要注意系统的供给压力与耗气量的关系,一般真空发生器所产生的吸入口处压力在20kPa到10kPa之间。此时供表压力再增加,吸入口处压力也不会再降低了,而耗气量却增加了。因此降低吸入口处压力应从控制流速方面考虑。有时由于工件的形状或材料的影响,很难获得较低的吸入口处压力,由于从吸盘边缘或通过工件吸入空气,而造成吸入口处压力升高。在这种情况下,就需要正确选择真空发生器的尺寸,使其能够补偿泄漏造成的吸入口处压力升高。由于很难知道泄漏时的有效截面积,可以通过一个简单的试验来确定泄漏造成的吸入口处压力升高。由于很难知道泄漏时的有效截面积,可以通过一个简单的试验来确定泄漏量。试验回路由工件,真空发生器,吸盘和真空表组成,由真空表的显示读数,再查真空发生器的性能曲线,可很容易知道泄漏量的大小。
气动式真空上料机是利用压缩空气通过真空发生器产生高真空实现对物料的输送,不需要机械式真空泵,具有结构简单、体积小、免维修、噪音低、控制方便、消除物料静电等优点。真空发生器产生的高真空,使被输送的物料杜绝了分层现象,保证了混合物料成份的均一性,是压片机、胶囊填充机、干法制粒机、包装机、粉碎机、振动筛等机械自动上料的设备。当压缩空气供给真空发生器时,真空发生器就产生负压形成真空气流,物料被吸入吸料咀,形成物气流,经过吸料管到达上料机的料仓内。过滤器把物料与空气彻底分离,当物料装满料仓时,控制器会自动切断气源,真空发生器停止工作,同时料仓门自动开启,物料落到设备的料斗中。与此同时,压缩空气通过脉冲反吹阀自动清洗过滤器。等到时间到或料位传感器发出上料信号时,自动启动上料机。排气分集中排气和大气排放两种,需要保持环境洁净度或降低噪音时用集中排气,不要时用体型更小的大气排放。
真空吸附是非标自动化项目中比较常见的一种拾取应用,要产生真空就需要用到真空发生器(真空泵也可以产生真空,不在此做讨论)。真空发生器其实就是一个使用文丘里效应的文丘里管,关于文丘里效应大家可以去百度。真空发生器**简易的就是一个文丘里管,通气后产生真空吸附,再复杂一点集成开关阀,用来控制进气,这是比较低成本的应用,适合对真空吸附要求不高的场合。我们大多数时候都是使用更为复杂一点的真空发生器,可以控制产生真空和破除真空,还可以接收真空度的检测信号,从而得到产生的真空吸附是否达到要求。对于两个控制信号以及一个检测信号,我们有很多文章可以做。经营范围:气动元件、液压元件、机械自动化元件制造、加工、销售.......合肥真空发生器案例
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真空发生器结构简单,体积小,无可动机械部分,使用寿命长,安装使用方便,真空度可达88kPa,尽管产生的负压(真空度)不大,流量也不大,但可控、可调,稳定可靠,瞬时开关特性好,无残余负压,同一输出口可正负压交替使用。压缩空气通过收缩的喷射后,从喷嘴内喷射出来的一束流体的流动称为射流。射流能卷吸周围的静止流体和它一起向前流动,这称为射流的卷吸作用。而自由射流在接收室内的流动,限制了射流与外界的接触,但从喷嘴流出的主射流还是要卷吸一部分周围的流体向前运动,于是在射流的周围形成一个低压区,接收室内的流体便被吸进来,与主射流混合后,经接收室另一端流出。这种利用一束高速流体将另一束流体(静止或低速流)吸进来,相互混合后起流出的现象称为引射现象。若在喷嘴两端的压差达到一定值时,气流达声速或亚声速流动,于是在喷嘴出口处,即接收室内可获得一定负压。汕头国产真空发生器
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