淄博螺杆干式真空泵厂家

在多晶硅制备、半导体刻蚀等工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒，除半导体的某些产品需要微粒的工艺外，一般不希望微粒混入泵油中，而希望将微粒排出泵外，干式螺杆真空泵能够满足要求。常用真空泵包括干式螺杆真空泵，水环泵往复泵，滑阀泵旋片泵，罗茨泵和扩散泵等，这些泵是我国国民经济各行业应用真空工艺过程中必不可少的主力，近年来，伴随着我国经济持续高速发展，真空泵相关下游应用行业保持快速增长势头，同时在真空泵应用领域不断拓展等因素的共同拉动下，我国真空泵行业实现了持续稳定地快速的发展。山东华中始终坚持不懈的进行着产品的研发与创新，注重产品的质量标准。淄博螺杆干式真空泵厂家

干式真空泵行业涉及真空学、材料科学、机械科学等多学科知识的交叉融合，需要在技术路径与选择、研发制备等多方面集成相关技术，并在实践中不断检验磨合，形成自己独特生产工艺、技术特点，方能出产性能优越的干式真空泵。对于新进入者而言，在较短时间内难以具备成熟的技术，从而导致其生产的干式真空泵性能、质量稳定性无法与业内成熟企业相竞争。螺杆真空泵是干式真空泵的一种，其工作原理是利用一对同步高速反向旋转的螺杆转子进行抽气。抽气过程可分为吸气过程、输送过程、压缩过程和排气过程。淄博螺杆干式真空泵厂家华中真空“团结、拼搏、求实、创新”的企业精神，不断引进优秀人才，打造良好的服务团队。

无油干式真空泵是指泵能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。如今，真空泵应用在工业领域的方方面面，为了满足不同细分行业的需求，干式螺杆真空泵、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗茨泵、扩散泵、爪泵、活塞泵等逐一面世，这些都统称为真空泵。干式螺杆真空泵同无油螺杆压缩机在密封和润滑上结构类似，在传动方式上，少数用皮带或者传动链传动，一般真空泵的排气端用机械式密封件，进气侧通常用双唇形密封件目前通用的是直连电机。

目前各种真空泵的发展愈来愈受到真空应用场合的影响，制药已经成为微电子干式螺杆真空泵由于其优越的性能，半导体，精密加工等行业理想真空获得设备，一般的真空系统无法满足清洁无油及耐腐蚀的要求。当叶轮按顺时针方向旋转时，水被叶轮抛向四周，由于离心力的作用，水形成了一个决定于泵腔形状的近似于等厚度的封闭圆环。爪式真空泵原理：有两个计数旋转的转子同步转动的压缩室，与不接触，不摩擦，很紧的间隙。在同步性是通过精密齿轮来实现的。作为爪轮流在吸入腔，气体流入通过进气口的腔室，并移向排放。淄博华中真空设备有限公司通过提高企业中心竞争力，为广大客商提供良好服务。

自以来真空泵行业结构转型趋势明显，干式螺杆真空泵的出现替代了大部分油螺杆真空泵，在制药、医疗器械、半导体行业均有应用。半导体制造中主要应用的真空泵类型包括干式真空泵以及涡轮分子泵。较早时，油式真空泵是半导体行业中常用的真空泵种类，目前干泵成为了半导体行业主要的真空泵类型。叠式真空泵组合是为了满足大抽气速率，干式压缩，高效节能需求而设计的。正是由于这种组合结构，干式真空管系统可调整无油爪式真空泵的数量和规格来适应不同的工艺条件。华中真空拥有专业的技术人才，专业的销售人才及成熟的推广应用技术和可靠的市场服务体系。淄博螺杆干式真空泵厂家

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干式真空泵工作时，相互之间无摩擦，运转平稳，噪音低，工作腔无需润滑油。因此，干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘。由于水环真空泵无法弥补的缺陷，加之国内低碳环保意识逐渐增强，近年来，许多真空设备制造商研发新品以替代水环真空泵在工业领域的作用。其中，干式真空泵成为较好选择。罗茨真空泵可抽取少量水蒸气，而干式螺杆真空泵不只能抽取大量水蒸气，对粉尘颗粒物的敏感度也更低。涡旋干泵是一种干式的真空泵，其无需加油换油，也没有含油废气的排放，使用维护也非常方便，所以受到了很多客户的青睐。淄博螺杆干式真空泵厂家

淄博华中真空设备有限公司主要经营范围是机械及行业设备，拥有一支专业技术团队和良好的市场口碑。公司业务分为螺杆真空泵，罗茨真空泵，水环真空泵，干式真空泵等，目前不断进行创新和服务改进，为客户提供良好的产品和服务。公司注重以质量为中心，以服务为理念，秉持诚信为本的理念，打造机械及行业设备良好品牌。华中真空秉承“客户为尊、服务为荣、创意为先、技术为实”的经营理念，全力打造公司的重点竞争力。