干式机械真空泵的应用是较广的,主要有以下几个方面: 1 低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中; 2 半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒; 3 除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求; 4 在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵; 5 用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。沃德气体倾城服务,确保产品质量无后顾之忧。山东多级干式真空泵厂家
真空泵机组启动前要注意什么?真空泵机组启动前要注意什么?对于真空泵机组来讲,它在进行启动之前,肯定的就是要做启动准备的。就其真空泵机组的步的启动的准备的话也就是要把真空泵阀门进行试验,检查它的开关是不是灵活,确定其信号指示上是不是正确;接着也就是要对真空泵A、以及真空泵B,还有就是罗茨泵C等的电机进行正反转试验。我们在对真空泵机组进行启动之前,如果发现其泵内有污物的情况存在的话,我们也就是可以暂时的打开其排水管道,来进行排污冲洗;接着,对于其泵组轴承的话,我们也就是要注润滑油,然后就是要检查其各冷却水管,确认其密封水管是不是畅通,如果水管内有污物的话,我们其实也就是需要直接的进行冲洗。就其真空泵机组启动来讲的话,我们其实也就是应该注意,在我们进行启动之前的话,也就是应该先用手转动其泵轮数周,这样的话也就是可以确认其泵内没有卡住或者是其它损坏现象之后,才可以进行启动,在我们进行起动之前,也应该根据其泵上的旋转箭头方向,来确认其电动机的一个转向。接着,我们就要直接的把真空泵机组的进气管路上的闸阀进行打开,然后的话也就是要打开其管路的一个闸阀;下一步的话,也就是要启动其真空泵A以及真空泵B。山东螺杆干式真空泵厂公司将以质量的产品,完善的服务与尊敬的用户携手并进!
重新装配的真空泵应进行几个小时的运转试验,以观察是否达到使用要求)真空泵的结构特点真空泵的结构:(1)真空泵总体结构型式真空泵的泵体的布置结构决定了泵的总体结构。立式结构的进、排气口水平设置,装配和连接管路都比较方便。但泵的重心较高,在高速运转时稳定性差,故这种型式多用于小泵。真空泵卧式泵的进气口在上,排气口在下。有时为了真空系统管道安装连接方便,可将排气口从水平方向接出,即进、排气方向是相互垂直的。此时,排气口可以从左或右两个方向开口,除接排气管道一端外,另一端堵死或接旁通阀。这种泵结构重心低,高速运转时稳定性好。一般大、中型泵多采用此种结构。真空泵的两个转子轴与水平面垂直安装。这种结构装配间隙容易控制,转子装配方便,泵占地面积小。但泵重心较高且齿轮拆装不便,润滑机构也相对复杂。(2)真空泵的传动方式真空泵的两个转子是通过一对高精度齿轮来实现其相对同步运转的。主动轴通过联轴器与电机联接。在传动结构布置上主要有以下两种:其一是电动机与齿轮放在转子的同一侧如图。从动转子由电动机端齿轮直接传过去带动,这样主动转子轴的扭转变形小,则两个转子之间的间隙不会因主动轴的扭转变形大而改变。
连接管的口径不能小于真空泵进气口的内径,否则会影响抽速,但必须小于进气口的外径,否则影响密封度。被抽容积不能过于大,一般会选用泵的抽速以秒为单位的15-20倍。在活动的接头处,涂上真空脂,以增强其密封度。4、接上电源,装接电线时,要注意电机铭牌上的接线规定的要求。真空泵如何安全操作真空泵是常见的真空设备,而且是很多实验室的辅助设备,那么,真空泵如何安全操作呢?1、操作前的准备工作首先应将设备放置在水平、通风、干燥处,将真空机组抽气口与被抽系统连接好,密封一定要严密,不应有泄漏点存在。检查真空泵和罗茨泵内的油位及油杯中的润滑油是否符合要求,连接好电源线和接地线。检查是否有其他不安全因素。2、操作机组的启动运行接通主电源开关,主电源指示灯亮;将控制方式放在手动或自动位置;按下控制电源按钮,指示灯亮(真空泵、增压泵和急停按钮应复位,否则控制电源按钮无法接通),如电源相序错误黄色指示灯亮,则需换相。将真空泵断路器接通,按下真空泵控制按钮,真空泵指示灯亮,同时真空泵运转。根据实际情况调节增压泵的延时(通过时间继电器,调节范围在1—6分钟)。将增压泵断路器接通,按下增压泵控制按钮,增压泵指示灯亮。沃德气体以质量求生存,以信誉求发展!
干式真空泵的抽气量:无油涡旋真空泵由于内部结构问题,抽气量较小,只适用于小抽气量的工艺中;干式螺杆真空泵型号齐全,可适用大抽气量工艺中,配合罗茨真空泵可以满足不同客户的需求。沃德气体有着质量的服务质量和极高的信用等级。山东多级干式真空泵厂家
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干式真空泵的稳定性:干式螺杆真空泵性能稳定,噪音低,故障率低;无油往复真空泵结构简单,噪音较高,需要经常更换滑片。爪式真空泵由于装配复杂,转子与轴不为一体,出现故障需全部重新拆解装配,反复装配从而降低产品性能及稳定性。山东多级干式真空泵厂家
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