江苏易维护真空烘箱

    为获得平坦而均匀的光刻胶涂层并使光刻胶与晶片之间有良好的黏附性，通常在涂胶前对晶片进行预处理。预处理第一步常是脱水烘烤，在真空或干燥氮气的机台中，以150～200℃烘烤。工艺目的是除去晶片表面吸附的水分，在此温度下，晶片表面大约保留了一个单分子层的水。涂胶后，晶片须经过一次烘烤，称之软烘或前烘。工艺作用是除去胶中大部分溶剂并使胶的曝光特性固定。通常，软烘时间越短或温度越低会使得胶在显影剂中的溶解速率增加且感光度更高，但对比度会有降低。实际上软烘工艺需要通过优化对比度而保持可接受感光度的试凑法用实验确定，典型的软烘温度是90～100℃，时间从用热板的30秒到用烘箱的30分钟。在晶片显影后，为了后面的高能工艺，如离子注入和等离子体刻蚀，也须对晶片进行高温烘烤，称之后烘或硬烘。这一工艺目的在于：减少驻波效应；激发化学增强光刻胶PAG产生的酸与光刻胶上的保护基团发生反应并移除基团使之能溶解于显影液。 利用真空泵进行抽气抽湿，使工作室内形成真空状态，降低水的沸点，加快干燥的速度。江苏易维护真空烘箱

烘箱在电子行业的应用：组件，预热，烘烤，干燥，热分解，固化，退火，回流焊接。数据存储：对录音磁头以及铝制和玻璃磁盘介质磁头以及铝制和玻璃磁盘介质。光纤：黏合剂粘合与固化，Telcordia测试与预烧。半导体组装/圆片级包装：密封剂、BCB，CMOS光学和底胶固化传感器处理，芯片黏着和BGA，B阶黏着剂固化，稳定性测试，配向膜烘烤，预烧和测试，热冲击。半导体前端：磁性退火，圆片级预烧，金属薄膜退火，配向膜烘烤，光阻固化，稳定性测试。湖州真空泵抽湿真空烘箱PID调节工作室采用不锈钢板(或拉丝板)制成，确保产品经久耐用。

    光电元件干燥箱系列是按LED光电元件生产工艺要求制作。也适用于其他电力、电子元器件的老化、固化等烘干工艺。该干燥箱的温度范围、工作室的尺寸和隔层高度、气流的走向以及控制形式、精度都大限度地满足了LED光电元件及相关行业的需求。材料及特点：控温仪表：产品采用综合的电磁兼容设计和人性化的菜单设计，采用了公司自主研发的自适应控温技术进行温度控制，使得设备操作完全傻瓜化，解决了以往PID控制技术需要多次参数整定，温度过冲等弊病，控温效果好。双屏高亮度宽视窗数字显示，示值清晰、直观。微电脑智能控制，设定温度后，仪表自行控制加热功率，并显示加热状态，控温精确而稳定。超温报警并自动切断加热电源。有定时功能，定时时间长达9999分钟。具有因停电，死机状态造成数据丢失而保护的参数记忆，来电恢复功能。从里到外有内腔、内壳、超细玻璃纤维、空气夹层，内胆热量损失少。内胆外箱及门胆机构独特，极大减少了内腔热量的外传。箱体内部结构：置于箱体背部的电加热器热量通过侧面风道向前排出，经过干燥物后再被背部的高性能风机吸入，形成合理的风道，能使热空气充分对流，使箱内温度大限度达到均匀。

真空烘箱由高真空度真空泵，箱体，工作室，电加热器及数字温度器组成。能够在设定的真空度条件下稳定工作，适用于医药、化工、电子、器、材料、零件的真空乾燥处理。箱体外壳以冷扎板喷塑，美观悦目。内箱以不锈钢板密焊耐压工艺处理，配上门上的硅胶密封压垫，保证箱内的气密性，并采用玻璃纤维保温，提供高效绝热，节省能耗效果。发热板安装在内箱体四侧，以保证温度均匀性。广用于医药、食品、轻工、化工、电子等行业作干燥之用，具有干燥物品速度快、污染小、不对干燥物品的内在质量造成破坏的优点。将真空泵与真空阀连接，开启真空阀，抽真空；

在CCD（电荷耦合器件）制造过程中，颗粒沾污对CCD的薄膜质量、光刻图形完整性等有很大的影响，降低CCD的成品率。CCD制造过程中的颗粒来源主要有两个方面：一个制造过程中工艺环境产生的颗粒；另一个是薄膜的淀积、光刻和离子注入等CCD工艺过程中产生的颗粒。工艺环境的颗粒可来源于墙体、设施、设备、材料和人员，工艺过程的颗粒来源于易产生粉尘的工艺，比如说LPCVD淀积多晶硅和氮化硅及刻蚀工艺等。无尘烘箱，即使在普通环境下使用，能够确保烘箱内部等级达到Class 100，为CCD（电荷耦合器件）制造过程中烘烤提供洁净环境，预防颗粒沾污干燥的物品如干燥后改变为重量轻，体积小（为小颗粒状），应在工作室内抽真空口加隔阻网。江苏易维护真空烘箱

真空泵在运行过程中，轴承温度不能超过环境温度35C，最高温度不得超过80C。江苏易维护真空烘箱

    真空镀膜蒸镀塑料件工艺流程：1、来料检查；2、干燥待真空镀膜镀件来料时含较多的水分，需干燥处理3-5小时，温度50-60度；3、上架，一般注塑时基本按真空镀膜机生产，因此待真空镀膜镀件表面一般油污较少经过一般的擦拭就可上架，但是来料油污多时需进行去污处理。方法是用清沾剂逐件刷洗，漂洗，烘干。油污严重时还需要用清洗剂在50-60度，浸泡15-20min进行脱脂处理；4、除尘，这道工序是保证真空镀膜镀膜质量的关键之一，方法有两种：一种是用吸尘器对准待真空镀膜镀件仔细地除尘，另一种是用高压其“吹尘”的方法；5、涂底漆；6、烘干，涂漆流平后进行干固处理，方法有红外线加热法，电热加热法及紫外线(UV)固化法等，固化温度为60-70度，固化时间为；7、真空镀膜，真空镀膜是保证真空镀膜镀膜质量的关键。真空镀膜的镀膜操作：待真空镀膜镀件上架并装上钨丝，然后入炉，检查接触是否良好，转动正常，关真空镀膜真空室，抽真空，真空镀膜蒸发铝，作为装饰膜真空镀膜蒸铝时的真空镀膜真空度控制在（1-2）*10-2Pa，真空镀膜蒸发采用快速蒸发可减少氧化概率，又不会使真空镀膜磨蹭的组织结构变粗。冷却充气，真空镀膜蒸铝以后，即可充气出炉；8、涂面漆。 江苏易维护真空烘箱

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