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根据使用的范围和抽气效能可将真空泵分为三类： (1)一般水泵，压强可达到1.333~100kPa(10~760mmHg)为"粗"真空。 (2)油泵，压强可达0.133~133.3Pa(0.001~1mmHg)为"次高"真空。 (3)扩散泵，压强可达0.133Pa以下，(10-3mmHg)为"高"真空。 若要较低的压力，那就要用到油泵了，好的油泵能抽到133.3Pa(1mmHg)以下。 在有机化学实验室里常用的减压泵有水泵和真空泵两种，若不要求很低的压力时，可用水泵，如果水泵的构造好且水压又高，抽空效率可达1067~3333Pa(8~25mmHg)。水泵所能抽到的较低压力理论上相当于当时水温下的水蒸气压力。例如，水温25℃、20℃、10℃时，水蒸气的压力分别为3192、2394、1197Pa(8-25mmHg)。用水泵抽气时，应在水泵前装上安全瓶，以防水压下降，水流倒吸；停止抽气前，应先放气，然后关水泵。通常选择真空泵的极限压力应低于工艺要求约一个数量级。NASH水环真空泵2BV2071公司电话

低温泵是利用低温表面捕集气体的真空泵。按其真空度可以分为：粗真空、高真空、超高真空三大类。 真空泵的机械安装： 1.按电动机标牌规定连接电源，并接地线和安装合适规格的熔断器及热继电器。 2.真空泵通电试运转时，须取下电机皮带，确认真空泵转向符合规定方向方可投入使用，以防真空泵反转喷油。（转向按防护罩指示方向） 3.对于有冷却水的真空泵，按规定接通冷却水。 4.如真空泵口安装电磁阀时，阀与真空泵应同时动作。 5.当真空泵排出气体影响工作环境时，可在排气口装接管道引离或装接油雾过滤器。英国爱德华真空泵采购焊接管路时应清理管道中焊渣，严禁焊渣进入真空泵腔。

真空泵卡死是常见故障，下面我们可依次分析： 首先检查电机是否与联轴器脱离，导致泵体无法运转。 驱动电机是否确实电源相。 分清是电机卡死，还是泵体卡死。 检查润滑密封油真空油，是否乳化变质，或者缺油。 解决办法如下： 分离电机与泵体确认电机无卡死并运转正常，拆泵前注意各管道阀门已经关闭，拆卸真空泵检查油路是否回油正常，检查旋片是否损坏卡死，旋片损坏更换新的旋片，泵腔与转子无损坏可以继续使用，装泵时着重注意安装密封。

分子真空泵的应用情况： 分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。 由于分子泵对水蒸气的抽速只为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，以满足不同场合的需要。真空泵立式结构的进、排气口水平设置，装配和连接管路都比较方便。

真空泵的机械选择： 1.了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。 2.真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。 3.正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。德国贝克真空泵KVT3.80采购

由于真空泵要求真空度很高，一般用石蜡基窄馏分润滑油。NASH水环真空泵2BV2071公司电话

真空泵的测量方式： 1.麦克劳真空计 也成为压缩式真空计，将待测的气体用汞（或油）压缩到一极小体积，然后比较开管和闭管的液柱差，利用玻义尔定律直接算出气体压强的一种真空计。 2.电容薄膜真空计 这是一种阴极与收集极倒置的热阴极电离规。收集极是一根细丝，放在栅网中心，灯丝放在栅网外面，因而减少软X射线影响，延伸测量下限，可测超高真空。电容薄膜真空计将三种不同的规管综合在个小型经济的规管中，测量过程压强和基本压强从5x10-10至1500毫巴。电容薄膜真空计由于具有测量精度高、动态响应快、测量结果与气体成分无关以及抗腐蚀、耐气压冲击等一系列优点，因而越来越受到人们的重视。以它取代**压力计、油压计、电阻真空计、热偶真空计以至部分地取代电离计。NASH水环真空泵2BV2071公司电话