干式机械真空泵的应用是普遍的，主要有以下几个方面：1、低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；2、半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；3、除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；4、在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；5、用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。真空泵在其工作压强下，一般能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。长沙干燥真空泵
真空泵的性能参数有哪些？泵的前级压强，真空泵的前级压强单位是Pa，它是指排气压强低于一个大气压的真空泵的出口压强。真空泵的较大前级压强，真空泵口较大前级压强单位是Pa，它是指超过了能使泵损坏的前级压强。真空泵的较大工作压强，真空泵的较大工作压强单位是Pa，它是指对应较大抽气量的入口压强。在此压强下，泵能连续工作而不恶化或损坏。压缩比，压缩比是指泵对给定气体的出口压强与入口压强之比。何氏系数，泵抽气通道面积上的实际抽速与该处按分子泻流计算的理论抽速之比。抽速系数，泵的实际抽速与泵入口处按分子泻流计算的理论抽速之比。灭菌真空泵哪里有第1次安装真空泵时，应检查电机是否正转，也就是电机与真空泵内转子转向一致。
真空泵的特点：1、在较宽的压力范围内有较大的抽速；2、转子具有良好的几何对称性，故振动小，运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙，不用润滑，摩擦损失小，可大幅降低驱动功率，从而可实现较高转速；3、泵腔内无需用油密封和润滑，可减少油蒸气对真空系统的污染；4、泵腔内无压缩，无排气阀。结构简单、紧凑，对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感；5、压缩比较低，对氢气抽气效果差；6、转子表面为形状较为复杂的曲线柱面，加工和检查比较困难。
真空泵的两个转子是通过一对高精度齿轮来实现其相对同步运转的。主动轴通过联轴器与电机联接。在传动结构布置上主要有以下两种：其一是电动机与齿轮放在转子的同一侧如图。从动转子由电动机端齿轮直接传过去带动，这样主动转子轴的扭转变形小，则两个转子之间的间隙不会因主动轴的扭转变形大而改变，故使转子之间的间隙在运转过程中均匀。特点:(1)在较宽的压力范围内有较大的抽速；(2)转子具有良好的几何对称性，故振动小，运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙，不用润滑，摩擦损失小，可大幅降低驱动功率，从而可实现较高转速；(3)泵腔内无需用油密封和润滑，可减少油蒸气对真空系统的污染；(4)泵腔内无压缩，无排气阀。结构简单、紧凑，对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感；(5)压缩比较低，对氢气抽气效果差；(6)转子表面为形状较为复杂的曲线柱面，加工和检查比较困难。真空泵具有真空度高、结构简单、操作方便的特点。
真空泵维护要求：1、经常检查真空泵油位位置，没有在指定油线位置应立即加上足够的油。以真空泵运转时，油位到油标中心为准。2、换油期限按实际使用条件和能否满足性能要求等情况考虑，由用户酌情决定。一般新真空泵，抽除清洁干燥的气体时，建议在工作300小时左右换油一次。待油中看不到黑色金属粉末后，以后可适当延长换油期限。3、经常检查油质情况，发现油变质应及时更换新油，确保真空泵工作正常。4、一般情况下，真空泵工作2000小时后应进行检修，检查桷胶密封件老化程度，检查排气阀片是否开裂，清理沉淀在阀片及排气阀座上的污物。清洗整个真空泵腔内的零件，如转子、旋片、弹簧等。一般用汽油清洗，并烘干。对橡胶件类清洗后用干布擦干即可。清洗装配时应轻拿轻放小心碰伤。真空泵的使用保养方法是什么？南通电子真空泵功能
真空泵可以对进行维修后的制冷系统进行抽空，将系统内部残留的气体抽出，使系统内部保持干燥。长沙干燥真空泵
爪型干式真空泵当电机开始工作时，电机通过电机齿轮传递给介轮，再由介轮传递给主动齿轮带动同步从动齿轮做同步反方向运转，主动轴、从动轴便带动一级转子、二级转子、三级转子、四级转子进行连续吸排气做功，被抽气体通过进气口,进入进气口通道，在一级转子对的压缩下，一级泵腔内的气体通过一级排气道,进入二级泵腔，二、三、四级泵腔内的气体做同样的运动，经四级排气道进入冷凝缓冲区，液体流向排液道,通过液体收集口可直接回收，残存气体通过消声器，排气口排出泵外，从而起到抽真空以及气液分离的作用。长沙干燥真空泵
