光谱共焦技术的非接触测量
Irix ™是一系列基于彩色共焦技术的非接触式传感器,能够测量对白光透明的任何材料上的距离和厚度。
Irix ™ 可同时测量5层材料。该控制器可与一大系列具有不同测量范围、机械尺寸和计量规范的光学探针结合使用,以满足多样化的应用需求。
控制器有两种型号可供选择:带7英寸集成显示屏,或带有用于文件柜.display或采用盲板形式,机柜采用带DIN导轨连接。
Irix控制器系列由不同型号(1个和2个同步通道)组成,结合各种各样的光学元件(Marposs和STIL),可提供优良的计量性能(高达纳米)。Irix以比较高的质量标准制造,是一种坚固可靠的产品,适合在工业环境中使用。
彩色共焦技术允许测量任何能够反射白光的材料(例如:金属、玻璃、塑料、漆膜、液体)。
非接触式测量适用于所有需要在不接触目标的情况下进行测量的情况一个光学探针可同时测量多达五个透明层高测量精度可互换传感器;
Irix可保存多达32张地图,以便使用比较合适的探头。
集成7“显示器不受热噪声和电噪声影响的无源光学探头SDK和协议命令的可用性,便于集成到任何系统中缩小测量点动态采集用编码器同步测量(空间同步)粗糙度测量 非接触式测量,一体化设计,3D轮廓扫描,多功能数据处理适用于各种材料的精确测量。江西stil传感器应用案例
应用范围:光谱共聚焦传感器既可用于工业环境中,也可用于生产过程中的在线检测以及实验室环境中的高精度仪器。他们主要涵盖以下内容:l微形貌(测量样品的形状和表面特征)l尺寸控制(测试制造产品的特定尺寸是否符合规格)l质量控制(制造产品缺陷的识别和特征描述)l粗糙度测量(测量样品表面的统计特征)l摩损度(表征机械或化学侵蚀)l厚度测量
光谱共焦传感器完全符合涉及3D真实表面纹理的测量和分析的ISO25178标准。
此外,此标准第601章节致力于非接触式表面测量,引用CCI作为***参考技术原理 江西点光谱共焦传感器品牌STIL光谱共焦传感器对被测物体表面颜色和光洁度无特殊要求,无论物体表面是漫反射或高光面,甚至是镜面。
什么是光谱共焦干涉仪?非接触式轮廓测量技术中的测量精度,通常受机械振动和微扫描台位置不准确的限制。为不再受此类环境干扰,开发了对振动不敏感的全新干涉测量法。采用这种新型干涉仪系统,干涉仪显微镜的精度可达亚纳米级。
光谱共焦干涉测量原理干涉测量法基于白光干涉图(SAWLI)的光谱分析。它包括分析在光谱仪上观察到的干扰信号,以便测量参比板和样品之间的气隙厚度。成熟系统的**性在于将参考板固定在检测目标上。由于参考板和样品固定在一起,机械振动不会影响测量结果。此外,该传感器可用于测量太薄而不允许使用光谱共焦技术的透明薄膜。**小可测厚度为0.4μm。
3C 行业应用:
集成电路自动光学检测
红外线传感器黄金接触垫
微电子的焊线槽形貌
印刷线路板的翘曲测量
金线的检测
玻璃行业
玻璃行业自吹起显示器非平面即曲面的想法,市面上2D、2.5D产品相继出现,经iPhone创办人SteveJobs构思3D曲面玻璃发展蓝图后,开启了发展趋势,相继有厂商投入3D产品各种成型技术的研发。因符合市场大量产品的设计需求,智能手机、智能手表、平板计算机、仪表板等陆续出现,时代进步已经明确引导3D曲面玻璃发展方向。那么3D曲面玻璃有什么优势特点使其能深受广大用户喜爱呢? 使用简单,拆装方便,扫描速度快,定位精度高重复精度±0.5~±1µm;稳定性高,抗干扰能力强。
而光谱共焦测量方法恰恰利用这种物理现象的特点。通过使用特殊透镜,延长不同颜色光的焦点光晕范围,形成特殊放大色差,使其根据不同的被测物体到透镜的距离,会对应一个精确波长的光聚焦到被测物体上。通过测量反射光的波长,就可以得到被测物体到透镜的精确距离。这一过程与摄影器材通过各种方法消减色差的过程正好相反。白色光通过一个半透镜面到达凸透镜。上述特殊色差就在这里产生。光线照射到被测物体后发生反射,透过凸透镜,返回到传感器探头内的半透镜上。半透镜将反射光折射到一个穿孔盖板上,小孔只允许聚焦好的反射光通过。透过穿孔盖板的光是一组模糊光谱,也就是说若干不同波长的光都有可能穿过小孔照在CCD感光矩阵单元上。但是只有在被测物体上聚焦的反射光拥有足够光强,在CCD感光矩阵上产生一个明显的波峰。在穿孔盖板后面,需要一个分光器测量反射光的颜色信息。分光器类似一个特制光栅,可以根据反射光的波长,增强或减弱折射率。因此,CCD矩阵上的每一个位置,对应一个测量物体到探头的距离。光谱共焦传感器,就选马波斯测量科技,用户的信赖之选,欢迎您的来电!北京光谱共焦视觉检测传感器测量速度
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颠覆传统激光三角测距法,3D尺寸精密测量方案提供者
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高场度高性价的线激光位移器,操作简单易懂出厂时已作标定,用户开箱即用,重新定义3D视觉,让3D相机的使用和2D相机一致
非接触式晶圆厚度测量系统
非接触式晶圆厚度测量系统是一种利用气体动静压原理工作的非触式轴承,由于工作在平面度较好的花岗岩表面,因此本身也能获得非常理想的使用。
非接触式晶圆粗糙度测量系统
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