真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空的要求。真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体传输泵。其普遍用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。长春真空分子泵
真空泵选择真空机组：(1) 当使用一种泵不能满足抽气及真空要求时，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足工艺要求。(2) 有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压力低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。经组合使用的真空泵，我们称之为真空泵机组，它能使真空系统得到较好的真空度及排气量。我们应正确地选择组合的真空泵，由于不同的真空泵对抽除的气体要求有不同的要求，例如：在一般情况下罗茨－旋片机组不适用于含有较多可凝性气体的系统。济南科研真空泵真空泵是真空获得设备中的主要种类，用于获得、改善和（或）维持真空环境。
真空泵故障及方法有哪些？噪声，（1） 旋片弹簧折断，可调换弹簧。（2）有毛刺、脏物或变形，运转发生障碍，应检查修磨清洗。（3）轴承磨损，零件磨损。应修整或更换。（4）电机出毛病，应进行检查。返油：(1) 止回阀未关好，停泵后，油位很快下降，可再开再停，观察变化或拆开检查。(2) 两泵盖内油封装配不当或磨损，可进行调换。（3) 泵盖或泵身平面不平整，可进行修整。(4) 排气阀片损坏，应进行调换。真空泵和空压机区别：空气压缩机简称空压机，是产生压缩空气的机器（正压）、真空泵刚好相反，是产生真空的机器（负压）。
真空是指低于大气压的气体所存在的空间状态。真空度是表示一个空间已达到的真空程度。真空度的单位为Pa。用来获得真空的器械称为真空泵。根据其工作原理，真空泵可以分为压缩型真空泵和吸附型真空泵。压缩型真空泵是将气体从被抽容器抽出，压缩到高于背压而排出。像旋片式机械真空泵、油蒸汽增压泵、分子泵等。吸附型真空泵是用各种吸气作用将气体吸附，暂时或长久储存于泵内，像用硫酸、五氧化二磷（P205）吸附水蒸气的吸气剂泵。真空泵的主要参数有：抽气速率、极限压强、比较大入口压强、比较大反压强、压缩比。真空泵中隔板压入时过盈量太大，造成真空泵腔变形而漏气。解决方案：修整真空泵腔或更换。
真空泵故障维修方法：极限真空不高及其消除（1）油位太低，有较大排气声，可加入清洁的真空泵油。（2）泵油为可凝性蒸汽所污染，可开气镇净化或更换新油。（3）泵口外接管道、容器、测试仪表管道、接头等漏气。大漏时，有大排气声，排气口有气排出，应找出漏气部位，进行消除。（4）进气咀或气镇阀橡胶密封图装配不当，损坏或老化，应调整或更换。（5）进油咀油孔堵塞，可拔出进油咀，疏通油孔。（6）真空系统严重污染，包括容器、管道等，应予清洗。（7）旋片弹簧折断，应予调换。（8）旋片、泵身或盖磨损，间隙过大，应进行检查，修整或调换。（9）泵温过高，应改善通风和冷却。如所抽气体温度太高，应予先冷却后再进入泵内。真空泵长期停用，需将泵全部拆开，擦干水分，将转动部位及结合处涂以油脂装好，妥善保管。品牌食品真空泵
吸入管、出管或真空泵的流道堵塞。解决方案：消除杂物。长春真空分子泵
真空泵的性能指标：a．抽气速率：单位时间内抽吸气体的体积叫抽气速率，用符号S表示，单位为m³/h或m³/s，它表明真空泵的抽气能力。b．极限真空：极限真空又称残余压力，指真空泵所能达到的低压力值，用符号p吸表示，单位为Pa。c．真空度和真空度百分数：真空度是大气压力和真空系统中压力的差值，用符号pv表示，单位为Pa．即：pv=101.3×103-p（pa）。式中p-真空系统中的压力，Pa。真空度百分数是真空度与大气压力的比值。真空泵工作时．不断地抽出容器内的气体，使容器内的气体减少，压力逐渐降低，当容器内的气体压力低于某低值时．往往会出现下列情况：容器中的液体发生汽化；泵高压侧漏回的气量与真空泵的抽气量相同；真空泵的压力比过高，使抽吸过程终止。此时，容器内的压力便不会再降低，所以不能无限地将压力降低到真空。长春真空分子泵
