石家庄半导体真空泵

真空泵的正确使用与保养要点：1、一般情况下，真空泵工作2000小时后应进行检修，检查橡胶密封件老化程度，检查排气阀片是否开裂，清理沉淀在阀片及排气阀座上的污物。清洗整个真空泵腔内的零件，如转子、旋片、弹簧等。一般用汽油清洗，并烘干。对橡胶件类清洗后用干布擦干即可。清洗装配时应轻拿轻放小心碰伤。2、有条件的对管中同样进行清理，确保管路畅通。3、重新装配后应进行试运行，一般须空运转2小时并换油二次，因清洗时在真空泵中会留有一定量易挥发物，待运转正常后，再投入正常工作。真空泵可单独使用，也可用为增压泵、扩散泵、分子泵的前级泵、维持泵、钛泵的预抽泵用。石家庄半导体真空泵

水环真空泵在工作的时候，我们要注意以下几个问题。我们要将水环真空泵尽可能的要求在高效区内，也就是在临界真空度或者是临界排气压力的区域内进行使用，不仅如此，我们要避免在真空度和排气压力大的地方运行，这样就会导致水环真空泵出现效率低，甚至是振动和噪音，而对于真空度较高的真空泵而言，如果在真空度和压力大的地方运行还会导致水环真空泵出现汽蚀的情况。所以根据以上的问题，如果水环真空泵所需的真空度或者气体压力不高的时候，我们可以优先在单级泵中选取。如果真空度或排气压力较高，单级泵往往不能满足，或者要求泵在较高真空度情况下仍有较大气量，即要求性能曲线在较高真空度时较平坦，可选用两级泵。长春离子真空泵真空泵在工作的首月内，经100小时更换润滑油，以后每个500小时，换油一次。

干式机械真空泵的应用是普遍的，主要有以下几个方面：1、低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；2、半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；3、除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；4、在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；5、用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。

干式真空泵的保养窍门：1、检查真空泵厂家管路及结合处有无松动现象。用手转动真空泵，试看真空泵是否灵活。2、向轴承体内加入轴承润滑机油，观察油位应在油标的中心线处，润滑油应及时更换或补充。3、拧下真空泵泵体的引水螺塞，灌注引水或引浆。4、关好出水管路的闸阀和出口压力表及进口真空表。5、点动电机，试看电机转向是否正确。6、开动电机，当真空泵正常运转后，打开出口压力表和进口真空泵，视其显示出适当压力后，逐渐打开闸阀，同时检查电机负荷情况。下游真空泵多被应用于制药、化工、食品、电子等行业。

无油真空泵的适用范围：1、自动包装线上的真空吸拉列开袋、装料。2、印刷机械上的纸张真空吸送。3、各种液体注入瓶内的高效率真空灌装。4、各种塑料制品的真空吸塑成形。5、物体表面在真空状态下的气密性试验。6、纸箱及瓶类物品的标鉴真空吸送粘贴。7、真空吸引固定下的照相制版。8、真空状态下的利用压力差引导气体分析。9、各种医药机械自动线上的配套使用。10、加工上的非磁性零件夹用的真空吸盘夹具。11、各种容器在真空状态下的检漏试验。12、食品加工机械上的应用。13、中西药厂真空蒸馏干燥。14、医院手术室的真空吸引。真空泵中隔板压入时过盈量太大，造成真空泵腔变形而漏气。解决方案：修整真空泵腔或更换。湛江蒸馏用真空泵

在真空泵工作的各个阶段都要考虑检漏工作。石家庄半导体真空泵

爪型干式真空泵的应用行业：1、石化行业：结晶、蒸馏、精馏、升华、聚合、减压蒸发、真空干燥、负压浓缩、油气回收、吸附/脱附、生物燃料、易燃气体、腐蚀性气体、化学反应吸收等。2、医药行业：结晶、蒸馏、升华、干燥、脱臭、聚合、真空蒸发、负压过滤、单体回收、吸附/脱附、物料输送腐、蚀性介质、环氧乙烷消毒等。3、食品行业：升华、干燥、脱水、真空蒸发、真空保鲜、真空包装等。4、科研院所：旋蒸、蒸馏、精馏、聚合、负压抽滤、真空干燥、中试装置、风洞试验、真空环境模拟等。石家庄半导体真空泵