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电子显微镜基本参数
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电子显微镜(ElectronMicroscope)是采用电子束为光源,照射固体材料,以电子束散射的电子为信号,主要用于对材料表面或内部结构形态形貌进行高分辨成像,包括透射电子显微镜(TEM)、扫描透射电子显微镜(STEM)、扫描电子显微镜(SEM)。电子束轰击固体样品,在其表面或内部发生散射时,各种散射信号被相应探测器采集后,可直接或间接体现固体样品在微观区域独特的物理化学信息,如透射电子(TE结构形体,电子衍射,能量损失谱元素及价态特征),二次电子(SE形貌形态信息),背散射电子(BSE原子序数和相差异),特征X射线(EDX体相元素组分),俄歇电子(AE表面元素组分),阴极荧光(CL电子态信息),等离子激发(EELS元素及价态),电声(电子通道反差)等。微观物理化学结构特征决定材料宏观性能,对其开展精确分析意义重大。电子显微镜是根据电子光学原理,用电子束和电子透镜代替光束和光学透镜。安徽扫描电子显微镜售价

电子显微镜的发明,极大推动材料科技发展。电子显微镜中,对电子束进行折射的物质为电场或磁场,中心对称的磁场,其成像性质和高斯透镜几何光学一级近似,被称为磁透镜。磁透镜可以是永磁和电磁。地球沿着南北极贯穿,可以看做一个巨大的磁透镜,磁透镜焦距固定;电磁透镜通过改变线圈电流可改变透镜磁场强度,从而改变透镜焦距。TEM成像采用平行入射电子束照射样品,后续的电磁透镜通过同时聚焦从样品各个像素点发出的不同散射方向透射电子(TE-transmissionelectron),从而对电子束照射区域进行放大成像,通过调节中间的电磁透镜焦距,可实现放大倍数调节,较后用投影镜将物像照射在图像记录或显示上;SEM/STEM使用汇聚电子束照射样品,逐点扫描成像,空间分辨率和汇聚电子束束斑直径相关,通过改变电子束扫描区域大小来改变放大倍数。安徽扫描电子显微镜售价透射式电子显微镜常用于观察那些用普通显微镜所不能分辨的细微物质结构。

透射电镜电子束穿过样品时会携带有样品的信息,TEM的成像设备使用这些信息来成像。投射透镜将处于正确位置的电子波分布投射在观察系统上。观察到的图像强度,I,在假定成像设备质量很高的情况下,近似的与电子波函数的时间平均幅度成正比。若将从样品射出的电子波函数表示为Ψ,则不同的成像方法试图通过修改样品射出的电子束的波函数来得到与样品相关的信息。根据前面的等式,可以推出观察到的图像强度依赖于电子波的幅度,同时也依赖于电子波的相位。虽然在电子波幅度较低的时候相位的影响可以忽略不计,但是相位信息仍然非常重要。

扫描电子显微镜(SEM)是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段。其利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品,通过光束与物质间的相互作用,来激发各种物理信息,对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。新式的扫描电子显微镜的分辨率可以达到1nm;放大倍数可以达到30万倍及以上连续可调;并且景深大,视野大,成像立体效果好。此外,扫描电子显微镜和其他分析仪器相结合,可以做到观察微观形貌的同时进行物质微区成分分析。扫描电子显微镜在岩土、石墨、陶瓷及纳米材料等的研究上有普遍应用。因此扫描电子显微镜在科学研究领域具有重大作用。扫描式电子显微镜主要用于观察固体表面的形貌,也能与X射线衍射仪或电子能谱仪相结合。

电子显微镜是使用电子来展示物件的内部或表面的显微镜。高速的电子的波长比可见光的波长短(波粒二象性),而显微镜的分辨率受其使用的波长的限制,因此电子显微镜的理论分辨率(约0.1纳米)远高于光学显微镜的分辨率(约200纳米)。透射电子显微镜(Transmissionelectronmicroscope,缩写TEM),简称透射电镜,是把经加速和聚集的电子束投射到非常薄的样品上,电子与样品中的原子碰撞而改变方向,从而产生立体角散射。散射角的大小与样品的密度、厚度相关,因此可以形成明暗不同的影像,影像将在放大、聚焦后在成像器件(如荧光屏、胶片、以及感光耦合组件)上显示出来。电子显微镜电子光学系统主要有电子、电子透镜、样品架、荧光屏和照相机构等部件。重庆桌面型电子显微镜电子显微镜价格

扫描电子显微镜具有景深大、分辨率高,成像直观、立体感强、放大倍数范围宽等特点。安徽扫描电子显微镜售价

透射电子显微镜的成像原理可分为三种情况:吸收像:当电子射到质量、密度大的样品时,主要的成相作用是散射作用。样品上质量厚度大的地方对电子的散射角大,通过的电子较少,像的亮度较暗。早期的透射电子显微镜都是基于这种原理。衍射像:电子束被样品衍射后,样品不同位置的衍射波振幅分布对应于样品中晶体各部分不同的衍射能力,当出现晶体缺陷时,缺陷部分的衍射能力与完整区域不同,从而使衍射波的振幅分布不均匀,反映出晶体缺陷的分布。相位像:当样品薄至100Å以下时,电子可以穿过样品,波的振幅变化可以忽略,成像来自于相位的变化。安徽扫描电子显微镜售价

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