螺杆91位于所在凹槽8内部的一端均转动连接有载盘92,载盘92远离所在螺杆91的一侧均固定连接有橡胶块93,螺杆91远离固定盘1的一端均固定连接有手轮94,便于将钢丝复合管固定在所在***放置孔2的内部,固定盘1的另一侧设有第二夹盘11,第二夹盘11的直径和固定盘1的直径相同,第二夹盘11的内部设有若干第二放置孔12,第二放置孔12的数量和***放置孔2的数量相同且一一对应,便于支撑住钢丝复合管的中部,***夹盘4靠近固定盘1的一侧固定连接有***插环5,***插环5卡接在同侧卡槽3的内部,第二夹盘11靠近固定盘1的一侧固定连接有第二插环13,第二插环13卡接在同侧卡槽3的内部,便于将***夹盘4和第二夹盘11固定在固定盘1上。具体的,使用本实用新型时,将本实用新型移动到放置钢丝复合管的地方,在第二放置孔12的内部逐一插入钢丝复合管,并将钢丝复合管插入所在第二放置孔12对应的***放置孔2内部,然后转动其中一个固定机构9的螺杆91,将橡胶块93挤入对应的钢丝复合管的内部,将此钢丝复合管的一端固定在所在***放置孔2的内部,再重复上述步骤固定住其他钢丝复合管的一端,然后将第二夹盘11从固定盘1上取下来,并滑动到钢丝复合管的中部,支撑住钢丝复合管的中部。千岛方型超薄手动卡盘适合任何加工中心基机床使用。上海铣床强力超薄型夹盘
步骤5:角度控制驱动装置104驱动夹盘板102和杯形夹盘101倾斜一定角度。步骤6:旋转驱动装置106驱动夹盘板102和杯形夹盘101以预设的旋转速度转动,同时,基板保持装置100移动到工艺位置,在工艺位置,基板113浸没在电解液中。步骤7:角度控制驱动装置104驱动夹盘板102和杯形夹盘101转动,使夹盘板102和杯形夹盘101保持垂直状态。步骤8:打开电源,在基板113的正面电镀金属层。步骤9:电镀工艺完成后,基板保持装置100移动到冲洗位置,然后高速旋转,将基板113表面的电解液冲洗掉。步骤10:基板保持装置100移动到卸载位置,向基板113的背面通氮气,竖直驱动装置103驱动夹盘板102上升,然后将基板113从密封件111的唇形密封部1115上取走。综上所述,本发明的基板保持装置100利用密封件111包裹杯形夹盘101,当使用该基板保持装置100固持基板113并将基板113浸没在电解液中电镀时,密封件111保护基板113正面的边缘、基板113的背面和杯形夹盘101内的接触环112,避免基板113正面的边缘、基板113的背面和杯形夹盘101内的接触环112接触电解液。密封件111是柔软的,且制成杯形夹盘101的材料的硬度比密封件111的硬度高,当密封件111包裹杯形夹盘101时,杯形夹盘101不会变形。因此。上海铣床强力超薄型夹盘千岛超薄型夹盘SE-04.
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然后通过多个螺丝110将固定环109固定在杯形夹盘101边沿1013的底部。密封件111的厚度为,较佳为。在湿法工艺过程中,密封件111的唇形密封部1115密封基板113正面的边缘,使化学液体无法接触到基板113正面的边缘和基板113的背面。因此,湿法工艺完成后,基板113正面的边缘和基板113的背面是干的。除此以外,由于密封件111包裹杯形夹盘101,密封件111保护杯形夹盘101并防止杯形夹盘101接触到化学液体,避免杯形夹盘101被化学液体腐蚀。有了密封件111的保护,该基板保持装置100承载的基板113可以浸没到化学液体中加工,如电镀。为了避免化学液体腐蚀固定环109和螺丝110,化学液体的液面低于固定环109。密封件111为一体成型,制成密封件111的材料可以是橡胶,如氟橡胶、硅橡胶、丁腈橡胶。制成密封件111的材料还可以是塑料,如聚四氟乙烯。用来制造密封件111的材料是柔软的并具有一定硬度,材料的硬度为硬度计检测出的20-70,较佳为40-60。制成密封件111的材料具有疏水性,并且材料表面粗糙度ra<8μm。如图18所示,当液滴301和基板313之间的接触角ф大于90°,则基板313具有疏水性,接触角ф与材料表面粗糙度有关。当材料表面粗糙度增加,则接触角ф变小。千岛强力方型超薄型MC-08。
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基板和盖板27117之间的电镀液通过开口27118形成流动的电镀液。参考图30至图32所示,揭示了本发明的又一实施例。揭示了电镀夹盘的密封件3011。密封件3011包括底部30111、外壁30112及内壁30114。外壁30112的顶端设有突起30113。内壁30114弯曲形成唇形密封部30115。内壁30114与唇形密封部30115相连的末端水平延伸形成固定部30116。内壁30114水平突出形成盖板30117。在该实施例中,盖板30117上设有多个孔30118。在电镀过程中,盖板30117遮盖基板的缺口区域。较佳地,盖板30117也遮盖部分邻近基板缺口区域的图形区域。基板和盖板30117之间的电镀液通过该多个孔30118形成流动的电镀液。参考图33a至图33h所示,揭示了不同形状的盖板。在这些图示中,黑色部分分别表示盖板。从这些图示中可以看出盖板是可以关于穿过基板中心和基板缺口的轴对称或不对称。盖板上离基板缺口区域较远的边为直线或弧线,盖板上离基板缺口区域较近的边为直线或折线或弧线。盖板的形状根据缺口的形状来调整。由于本发明采用盖板遮盖基板的缺口区域,在电镀过程中,盖板随着电镀夹盘一起转动。保持基板的电镀夹盘在电镀过程中以匀速或非匀速转动,且电镀效果将不会被影响。综上所述。上海铣床强力超薄型夹盘
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