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分子真空泵的应用情况： 分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。 由于分子泵对水蒸气的抽速只为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，以满足不同场合的需要。真空泵立式结构的进、排气口水平设置，装配和连接管路都比较方便。旋片式真空泵一般价格

真空泵的机械安装： ⑴真空泵应安装在地面结实坚固的场所，周围应留有充分的余地，便于检查、维护、保养。 ⑵真空泵底座下应保持地基水平，底座四角处建议垫减震橡皮或用螺栓浇制安装，确保真空泵运转平稳，振动小。 ⑶真空泵与系统的连接管道应密封可靠，对小真空泵可采用金属管路连接密封垫采用耐油橡胶，对小真空泵可采用真空胶管连接，管道管径不得小于真空泵吸气口径，且要求管路短而少弯头。（焊接管路时应清理管道中焊渣，严禁焊渣进入真空泵腔。） ⑷在连接管路中，用户可在真空泵进气口上方安装阀门及真空计，随时可检查真空泵的极限压力。旋片式真空泵一般价格近年来， 伴随着我国经济持续高速发展，真空泵相关下游应用行业保持快速增长势头。

真空泵的使用要点： 1.真空泵用于抽洁净气体，不能抽有毒、易燃、易爆、腐蚀性气体、溶剂及粉末等。如易燃气体、含国家特殊化学品规定成分的特殊或高浓度强酸强碱性气体等。这些气体容易导致轴承失效。 2.进气温度必须＜50℃，否则在被抽真空室与泵进气口之间必须加冷阱，降温至低于50℃。 3.抽含有水蒸汽的气体要打开气镇阀抽气，被抽气体的水蒸汽含量要求在23克/日以下。如果超过此极限，将会造成气镇阀寿命缩短。 4.真空泵禁止在腐蚀性、易燃、易爆气体或蒸汽的环境中工作，否则会造成炸裂、火灾等危险。 5.禁止由一两个人移动此泵。要由专业人员搬运、安装、配置、配线、操作、维护和检查，不然会导致触电、受伤或者泵甚至被抽真空室损坏的危险。 6.禁止继续使用已经损坏的泵，否则会有受伤、触电甚至被抽系统损坏等危险。

真空泵的选型： 真空泵的作用就是从真空室中抽除气体分子，降低真空室内的气体压力，使之达到要求的真空度。概括地讲从大气到极高真空有一个很大的范围，至今为止还没有一种真空系统能覆盖这个范围。因此，为达到不同产品的工艺指标、工作效率和设备工作寿命要求、不同的真空区段需要选择不同的真空系统配置。 真空泵的影响因素： 它是决议产品的大小,抽气量请求愈高,产品体积相对愈大,所需配用的电机功率亦会愈高。 它是决议产品采用何种构造,真空度是有表压及压力这两种读数。压力表示读数是值，即读数愈靠近‘0\'，真空度愈高。但反观表压，愈接近760mmHɡ即表示真空度愈高，假若你所请求的压力（极限真空）是靠近‘0\'，那么只要真空泵才能够满足这个需求。真空泵的噪音主要为运行时带来的机械噪音，真空泵排气是带来的空气性噪音，以及真空泵引起的管道振动。

真空泵使用方法和注意事项： 1.三相电机要注意电机旋转方向应与泵支架上的箭头方向一致。或在连接管道之前，先接线试车然后用手堵住进气口，看是否有吸力，若是有吸力，则接线正确，不然调换任意的两根接线即可以改变其转向； 2.检查所有阀门开关是否处于关闭状态，确认关闭后通电试车； 3.通电起动真空泵后，从真空泵较近的阀门开关开始，依次打开阀门开关； 4.真空泵的工作环境温度：-50C—400C范围内，相对湿度小于85%，进气口压力小于一个大气压力条件下工作。如果环境温度过低于真空泵则难以起动、过高会影响真空度；如果相对湿度较高，可以考虑在进入真空泵之前使用干燥过滤器，以防止大量的水分进入真空泵，从而造成影响真空度； 5.真空泵抽气口连续敞通大气运转，不得超过2分钟（油泵润滑除外）； 6.真空泵必须安装在通风并且使泵体保持一定的水平，确保真空泵运转平稳、振动小的位置； 7.在真空泵的排气咀上，较好用皮管接到室外，以免油蒸汽污染环境，同时也可降低。真空泵泵腔内无需用油密封和润滑，可减少油蒸气对真空系统的污染。旋片式真空泵一般价格

要正确地选择真空泵的工作点，每种泵都有一定的工作压强范围。旋片式真空泵一般价格

真空泵的噪音来源： 真空泵的噪音主要为运行时带来的机械噪音，真空泵排气是带来的空气性噪音，以及真空泵引起的管道振动。 解决方案： 隔音罩：对真空泵带来的噪音主要还是以隔音防振为主。对真空泵机组安装隔声罩，隔声罩大小是根据真空泵的尺寸大小设计，并且在真空泵隔声罩上安装消声器。 减振器：针对真空泵噪声结合现场实际情况，如果真空泵存在机房就应该对机房进行隔音处理，安装隔音材料，在地面使用减震垫，在真空泵下安装减震器。对真空泵和管道连接可以使用弹性支撑架，并且使用减振材料包扎整个管道用于降低整个设备带来的振动影响。 隔音屏障：对真空泵机四周设置双层吸隔声屏障，并在隔音屏障上安装隔音材料。 真空泵的噪声是可以通过吸音隔音材、减振等材料进行综合降噪，可以有效的降低噪音对周围环境的影响。旋片式真空泵一般价格