异质结电池工艺 1.清洗制绒。通过腐蚀去除表面损伤层，并且在表面进行制绒，以形成绒面结构达到陷光效果，减少反射损失；2.正面/背面非晶硅薄膜沉积。通过CVD方式在正面/背面分别沉积5~10nm的本征a-Si:H，作为钝化层，然后再沉积掺杂层；3.正面/背面TCO沉积。通过PVD在钝化层上面进行TCO薄膜沉积；4.栅线电极。通过丝网印刷进行栅线电极制作；5.烘烤(退火)。通过丝网印刷进行正面栅线电极制作，然后通过低温烧结形成良好的接触；6.光注入。7.电池测试及分选。光伏异质结电池PVD设备连续完成正背面TCO镀膜，产能高。北京新型异质结电池
异质结电池整线生产设备，l在扩散的过程中，pn结p区一侧出现负电荷区，n区一侧出现正电荷区，其形成空间电荷区，在空间内部形成内建电场，载流子做漂移运动，阻碍电子与空穴的扩散，达到平衡，能带停止相对移动，p区能带相对于n区上移，n区能带相对于p区下移，pn结的费米能级处处相等，即载流子的扩散电流和漂移电流相互抵消；pn结势垒区存在较强的内建电场（自n区指向p区），则p区的电子进入n区，n区的空穴进入p区，使p端电势升高，n端电势降低，在pn结两端产生光生电动势，即为PN结的光生伏特效应。同理，由于光照在PN结两端产生光生电动势，即在PN结两端加上正向偏压V，则产生正向电流IF，在PN结开路时，光生电流等于正向电流，PN结两端建立起稳定的电势差VOC，即光电池的开路电压，这就是光电池的基本原理。苏州釜川异质结CVD异质结电池结合钙钛矿技术，HJT电池更展现出极大的潜力，成为潜力很大的太阳能电池技术。
异质结硅太阳能电池的工艺要求与同质结晶体硅太阳能电池相比，有几个优点：与同质结形成相比，异质结形成期间的热预算减少。a-Si:H层和TCO前接触的沉积温度通常低于250℃。与传统的晶体硅太阳能电池相比，异质结的形成和沉积接触层所需的时间也更短。由于异质结硅太阳能电池的低加工温度及其对称结构，晶圆弯曲被抑制。外延生长：在晶体硅和a-Si:H钝化层之间没有尖锐的界面，而外延生长的结果是混合相的界面区域，界面缺陷态的密度增加。在a-Si:H的沉积过程中，外延生长导致异质结太阳能电池的性能恶化，特别是影响了Voc。事实证明，在a-Si:H的沉积过程中，高沉积温度（>140℃）会导致外延生长。其他沉积条件，如功率和衬底表面的性质，也对外延生长有影响，通过使用a-SiO:H合金而不是a-Si:H，可以有效抑制外延生长。HJT的清洗特点:在制绒和清洗之后的圆滑处理导致了表面均匀性的改善，减少了微观粗糙度，并提高了整个装置的性能。此外，氢气后处理被发现有利于提高a-Si:H薄膜的质量和表面钝化。CVD对比：HWCVD比PECVD有几个优点。例如，硅烷的热解避免了表面的离子轰击，而且产生的原子氢可以使表面钝化。
异质结电池技术路线，发电量高：低温度意味着在组件高温运行环境中，HJT电池具有相对较高的发电性能，从而实现发电量增益、降低系统的度电成本；若考虑电池工作温度超出环境温度10-40℃,而全年平均环境温度相比实验室标准工况低5-10℃，HJT电池每W发电量高出双面PERC电池约0.6%-3.9%。优势五：双面率高HJT正反面结构对称，而且TCO薄膜是透光的，天然就是双面电池；HJT的双面率能达到90%以上(能达到98%)，双面PERC的双面率约为75%+；据solarzoom测算，考虑10%-20%的背面辐照及电池片双面率的差异，HJT电池单瓦发电量高出双面PERC电池约2%-4%。优势六：弱光效应HJT电池采用N型单晶硅片，而PERC电池采用P型单晶硅片在600W/m以下的辐照强度；N型相比P型的发电表现高出1%-2%左右，HJT电池因弱光效应而在每W发电量上高出双面PERC电池约0.5-1.0%左右。异质结电池具有环保、可持续的特点，能够为未来的可持续发展做出重要贡献。
高效光伏异质结电池整线设备，HWCVD 1、热丝化学气相沉积(HotWireCVD，HWCVD)是利用高温热丝催化作用使SiH4分解来制备非晶硅薄膜，对衬底无损伤，且成膜质量非常好，但镀膜均匀性较差，且热丝作为耗材，成本较高；2、HWCVD一般分为三个阶段，一是反应气体在热丝处的分解反应，二是基元向衬底运输过程中的气相反应，第三是生长薄膜的表面反应。PECVD镀膜均匀性较高，工艺窗口宽，对衬底损伤较大。HWCVD是利用高温热丝催化作用使SiH4分解来成膜，对衬底无损伤，且成膜质量好，但镀膜均匀性较差且成本较高。零界高效异质结电池整线设备导入铜制程电池等多项技术，降低非硅成本。合肥钙钛矿异质结制绒设备
光伏异质结电池PECVD是制备PIN层的主流设备，其结构和工艺机理复杂，影响因素众多，需要专业公司制备。北京新型异质结电池
HJT电池整线装备，形成洁净硅片表面，由于HJT电池中硅片衬底表面直接为异质结界面的一部分，避免不洁净引进的缺陷和杂质而带来的结界面处载流子的复合。碱溶液浓度较低时，单晶硅的(100)与(111)晶面的腐蚀速度差别比较明显，速度的比值被称为各向异性因子(anisotropicfactorAF)；因此改变碱溶液的浓度及温度，可以有效地改变AF，使得在不同方向上的速度不同，在硅片表面形成密集分布的“金字塔”结构的减反射绒面；在制绒工序，绒面大小为主要指标，一般可通过添加剂的选择、工艺配比的变化、工艺温度及工艺时间等来进行调节控制。北京新型异质结电池
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