嘉兴内置泵体真空烘箱调试调整

使用注意事项：7.真空箱经多次使用后，会产生不能抽真空的现象，此时应更换门封条或调整箱体上的门扣伸出距离来解决。当真空箱干燥温度高于200℃时，会产生慢漏气现象（除6050、6050B、6051、6053外），此时拆开箱体背后盖板用内六角扳手拧松加热器底座，调换密封圈或拧紧加热器底座来解决。8.放气阀橡皮塞若旋转困难，可在内涂上适量油脂润滑。（如凡士林）9.除维修外，不能拆开左侧箱体盖（6090及6210型除外）以免损坏电器控制系统。10.真空箱应经常保持清洁。箱门玻璃切忌用有反应的化学溶液擦拭，应用松软棉布擦拭。11.若真空箱长期不用，将露在外面的电镀件擦净后涂上中性油脂，以防腐蚀，并套上塑料薄膜防尘罩，放置于干燥的室内，以免电器元件受潮损坏，影响使用。12.真空箱不需连续抽气使用时，应先关闭真空阀，再关闭真空泵电源，否则真空泵油要倒灌至箱内。箱门可调节式松紧闭合。嘉兴内置泵体真空烘箱调试调整

    为获得平坦而均匀的光刻胶涂层并使光刻胶与晶片之间有良好的黏附性，通常在涂胶前对晶片进行预处理。预处理第一步常是脱水烘烤，在真空或干燥氮气的机台中，以150～200℃烘烤。工艺目的是除去晶片表面吸附的水分，在此温度下，晶片表面大约保留了一个单分子层的水。涂胶后，晶片须经过一次烘烤，称之软烘或前烘。工艺作用是除去胶中大部分溶剂并使胶的曝光特性固定。通常，软烘时间越短或温度越低会使得胶在显影剂中的溶解速率增加且感光度更高，但对比度会有降低。实际上软烘工艺需要通过优化对比度而保持可接受感光度的试凑法用实验确定，典型的软烘温度是90～100℃，时间从用热板的30秒到用烘箱的30分钟。在晶片显影后，为了后面的高能工艺，如离子注入和等离子体刻蚀，也须对晶片进行高温烘烤，称之后烘或硬烘。这一工艺目的在于：减少驻波效应；激发化学增强光刻胶PAG产生的酸与光刻胶上的保护基团发生反应并移除基团使之能溶解于显影液。 嘉兴真空烘箱箱内高真空度本所物料的干燥周期，每隔一段时间观察一下，历力表，温度表，和箱体内的变化，来处理。

烘箱在电子行业的应用：组件，预热，烘烤，干燥，热分解，固化，退火，回流焊接。数据存储：对录音磁头以及铝制和玻璃磁盘介质磁头以及铝制和玻璃磁盘介质。光纤：黏合剂粘合与固化，Telcordia测试与预烧。半导体组装/圆片级包装：密封剂、BCB，CMOS光学和底胶固化传感器处理，芯片黏着和BGA，B阶黏着剂固化，稳定性测试，配向膜烘烤，预烧和测试，热冲击。半导体前端：磁性退火，圆片级预烧，金属薄膜退火，配向膜烘烤，光阻固化，稳定性测试。

真空烘箱可供科研、院校、工矿、化工等单位实验室以及生产现场，在真空状态下对物品进行干燥和热处理等。设备利用真空泵进行抽湿。使工作室内形成真空状态有效降低水分沸点温度。加快干燥速度、避免物品加热过程中导致氧化和损坏，避免尘埃破坏。

工作室采用质量不锈钢板。钢化双层玻璃视窗，工作室内产品一目了然；箱门闭合松紧可调，整体成型硅橡密封圈，确保向内高真空度；微电脑智能控温仪，设定、测定温度；双数字显示和PID自整定功能，控温精确；加热功率比例可任意调节；真空泵采用内置泵体，噪音小易维护。 真空泵在运行过程中，轴承温度不能超过环境温度35C，最高温度不得超过80C。

一般的电热（鼓风）干燥箱均设有温度均匀度参数：自然对流式的干燥箱为工作温度上限乘3%，强制对流式的干燥箱为工作温度上限乘2.5%。惟独电热真空干燥箱不设温度均匀度参数，这是因为真空干燥箱内依靠气体分子运动使工作室温度达到均匀的可能性几乎已经没有了。因此，从概念上我们就不能再把通常电热（鼓风）干燥箱所规定的温度均匀度定义用到真空干燥箱上来。在真空状态下设这个指标也是没有意义的。热辐射的量与距离的平方成反比。同一个物体，距离加热壁20cm处所接受的辐射热只是距离加热壁10cm处的1/4。差异很大。这种现象与冬天晒太阳时，晒到太阳的一面很暖和，晒不到太阳的一面比较冷是一个道理。由于真空干燥箱在结构上很难做到使工作室三维空间内的各点辐射热的均匀一致，同时也缺乏好的评估方法，这有可能是电热真空干燥箱标准中不设温度均匀度参数的原因。工作室采用不锈钢钢板。温州加热功率比例可调真空烘箱安全警报

真空箱外壳必须有效接地，以保证使用安全。嘉兴内置泵体真空烘箱调试调整

    光电元件干燥箱系列是按LED光电元件生产工艺要求制作。也适用于其他电力、电子元器件的老化、固化等烘干工艺。该干燥箱的温度范围、工作室的尺寸和隔层高度、气流的走向以及控制形式、精度都大限度地满足了LED光电元件及相关行业的需求。材料及特点：控温仪表：产品采用综合的电磁兼容设计和人性化的菜单设计，采用了公司自主研发的自适应控温技术进行温度控制，使得设备操作完全傻瓜化，解决了以往PID控制技术需要多次参数整定，温度过冲等弊病，控温效果好。双屏高亮度宽视窗数字显示，示值清晰、直观。微电脑智能控制，设定温度后，仪表自行控制加热功率，并显示加热状态，控温精确而稳定。超温报警并自动切断加热电源。有定时功能，定时时间长达9999分钟。具有因停电，死机状态造成数据丢失而保护的参数记忆，来电恢复功能。从里到外有内腔、内壳、超细玻璃纤维、空气夹层，内胆热量损失少。内胆外箱及门胆机构独特，极大减少了内腔热量的外传。箱体内部结构：置于箱体背部的电加热器热量通过侧面风道向前排出，经过干燥物后再被背部的高性能风机吸入，形成合理的风道，能使热空气充分对流，使箱内温度大限度达到均匀。嘉兴内置泵体真空烘箱调试调整